Nghiên cứu này tập trung vào việc sử dụng các tấm chắn đặt giữa “đường đi” của hơi vật liệu bốc bay từ bề mặt bia vật liệu phủ đến bề mặt mẫu hay chi tiết cần phủ trong các thiết bị bốc bay hồ quang ca-tôt truyền thống có giá thành rẻ hơn vì không có cơ chế lọc từ tính như các thiết bị cao cấp khác. Việc thay đổi kích thước của tấm chắn lọc (với các tỷ lệ đường kính của tấm chắn so với đường kính của bia Cr là Df/Dt khác nhau) làm ảnh hưởng đến mật độ và tốc độ tạo màng phủ nói chung của phương pháp nên sẽ được khảo sát trong nghiên cứu này. | JST Engineering and Technology for Sustainable Development Vol. 1 Issue 2 April 2021 136-140 Ảnh hưởng của tấm chắn hạt macro đến hình thái của lớp phủ CrN bằng phương pháp bốc bay hồ quang ca-tôt The Effect of Macro-Particle Blocking Plate on the Morphology of Coated CrN Film by Arc Cathodic Evaporation Method Trịnh Văn Trung Trường Đại học Bách khoa Hà Nội Hà Nội Việt Nam Email Tóm tắt Các hạt macro thường ảnh hưởng không tốt đến tính chất của các lớp phủ chế tạo bằng phương pháp bốc bay hồ quang ca-tôt. Để hạn chế các hạt này hình thành trên các lớp phủ có thể dùng các tấm chắn để lọc chặn bớt chúng. Các tấm chắn hình đĩa có đường kính Df khác nhau sẽ ảnh hưởng đến số lượng các hạt macro và tốc độ phủ màng. Cấu trúc hình thái của các hạt macro và màng phủ được khảo sát bằng các thiết bị hiển vi quang học hiển vi quang học soi nổi hiển vi điện tử phổ tán sắc năng lượng EDS và nhiễu xạ XRD. Kết quả khảo sát cho thấy việc sử dụng các tấm chắn với kích thước càng lớn giúp làm giảm mật độ các hạt macro nhưng cũng làm suy giảm chiều dày màng phủ và tốc độ phủ lớp màng CrN. Từ khóa Bốc bay hồ quang ca-tôt CrN hạt macro tấm chắn SUS420 Abstract Macro-particles often have a negatively affect on the properties of the coatings fabricated by arc cathodic evaporation. To prevent these macro-particles forming on the coating a blocking plate can be used to filter out them. Disc-shaped blocking plates with different diameters of Df influence the number of macro-particles and the deposition rate of the coating film. The structure and morphology of macro-particles and coatings were investigated by optical microscope stereoscopic optical microscope electron microscope energy dispersive spectrum EDS and XRD spectrum. The results show that the use of a larger diameter of the blocking plate reduces the density of macro-particles but also reduces the thickness of the coating as well as deposition rate of CrN film. Keywords Arc cathodic evaporation CrN .
