Nội dung của bài viêt này là khảo sát, đánh giá ứng dụng của bộ kích hoạt tịnh tiến ECLIA cho vi bơm kiểu xi lanh với phương pháp điều khiển phản hồi vị trí có và không sử dụng tham số điều khiển Kp. Thanh trượt với bước dịch chuyển nano mét tác động vào pít tông có thể đẩy ra lượng chất lỏng với thể tích rất nhỏ (pL). | Tạp chí Khoa học và Công nghệ 116 2017 020-025 Điều khiển phản hồi vị trí bộ kích hoạt tịnh tiến ứng dụng cho vi bơm kiểu xi lanh Position Feedback Control for Linear Actuator for Microsyringe Pump Application Nguyễn Anh Tuấn Phạm Hồng Phúc Trường Đại học Bách khoa Hà Nội Số 1 Đại Cồ Việt Hai Bà Trưng Hà Nội . Đến Tòa soạn 24-8-2016 chấp nhận đăng 20-12-2016 Tóm tắt Trong nghiên cứu này chúng tôi khảo sát đánh giá ứng dụng của bộ kích hoạt tịnh tiến ECLIA cho vi bơm kiểu xi lanh với phương pháp điều khiển phản hồi vị trí có và không sử dụng tham số điều khiển Kp. Thanh trượt với bước dịch chuyển nano mét tác động vào pít tông có thể đẩy ra lượng chất lỏng với thể tích rất nhỏ pL . Kết quả cho thấy thể tích chất lỏng được đẩy ra ở đầu xi lanh tỉ lệ thuận với độ dịch chuyển của thanh trượt pít tông. Trong trường hợp điều khiển có tham số Kp thì mức độ tuyến tính của thể tích chất lỏng đẩy ra tốt hơn do không có sự dao động và vượt quá điểm đích xác lập của pít tông. Kết quả này hướng tới các ứng dụng hiệu quả của ECLIA như một bộ kích hoạt trong các hệ vi cơ điện tử MEMS . Từ khóa ECLIA bộ kích hoạt tịnh tiến điều khiển phản hồi vị trí vi cơ điện tử. Abstract In this study we investigate a microsyringe pump application of a linear actuator using a position feedback control with and without a tuning gain KP. The slider pushes the microsyringe directly in step motion with nanometer resolution that repels a very small volume of liquid pL . Experimental results show that the liquid volume was direct propotion to the slider s stroke. The repeled liquid volume was better linear when using the feedback control with the the tuning gain K P compared to that without KP it was due to no overshoot and no ossilation of the slider piston. These results intent to a significant implementation in MEMS of the linear actuator. Keywords ECLIA linear actuator position feedback control MEMS 1. Giới thiệu tĩnh điện và lực đẩy của PZT ECLIA có thể đóng vai trò như một động cơ tuyến tính có
