Mục đích chính của luận án là nghiên cứu phát triển mô hình thiết bị đo cấu trúc hình học ba chiều của bề mặt tế vi chi tiết quang, cơ trên cơ sở sử dụng WLI. Để hiểu rõ hơn mời các bạn cùng tham khảo nội dung chi tiết của Luận án này. | BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO BỘ QUỐC PHÒNG HỌC VIỆN KỸ THUẬT QUÂN SỰ PHAN NGUYÊN NHUỆ NGHIÊN CỨU PHƯƠNG PHÁP VÀ XÂY DỰNG MÔ HÌNH THIẾT BỊ ĐO CẤU TRÚC HÌNH HỌC BA CHIỀU BỀ MẶT TẾ VI CỦA CHI TIẾT QUANG CƠ THEO NGUYÊN LÝ GIAO THOA ÁNH SÁNG TRẮNG LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT HÀ NỘI NĂM 2020 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO BỘ QUỐC PHÒNG HỌC VIỆN KỸ THUẬT QUÂN SỰ PHAN NGUYÊN NHUỆ NGHIÊN CỨU PHƯƠNG PHÁP VÀ XÂY DỰNG MÔ HÌNH THIẾT BỊ ĐO CẤU TRÚC HÌNH HỌC BA CHIỀU BỀ MẶT TẾ VI CỦA CHI TIẾT QUANG CƠ THEO NGUYÊN LÝ GIAO THOA ÁNH SÁNG TRẮNG Chuyên ngành Kỹ thuật cơ khí Mã số 9 52 01 03 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC 1. PGS. TS LÊ HOÀNG HẢI 2. PGS. TS DƯƠNG CHÍ DŨNG HÀ NỘI NĂM 2020 i LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan các kết quả trình bày trong luận án là công trình nghiên cứu của tôi. Các số liệu kết quả trình bày trong luận án là hoàn toàn trung thực và chưa được công bố trong bất kỳ công trình nào trước đây. Các kết quả sử dụng tham khảo đều được trích dẫn đầy đủ và theo đúng quy định. Hà Nội ngày tháng năm 2020 Tác giả Phan Nguyên Nhuệ ii LỜI CẢM ƠN Trong quá trình học tập và nghiên cứu tại Học viện Kỹ thuật Quân sự để hoàn thành luận án này tác giả đã nhận được nhiều sự giúp đỡ và đóng góp quý báu của các thầy cô các nhà khoa học các nhà quản lý và các đồng nghiệp. Đầu tiên tác giả xin bày tỏ lòng cảm ơn sâu sắc tới thầy giáo hướng dẫn Lê Hoàng Hải Dương Chí Dũng đã tận tình hướng dẫn và giúp đỡ tác giả trong quá trình học tập và nghiên cứu. Tác giả xin chân thành cảm ơn Phòng Sau Đại học Bộ môn Khí tài quang học Khoa Vũ khí - Học viện Kỹ thuật Quân sự đã tạo điều kiện thuận lợi để tác giả hoàn thành nhiệm vụ. Cuối cùng tác giả xin bày tỏ lòng cảm ơn đến gia đình bạn bè các đồng nghiệp đã luôn động viên giúp đỡ tác giả vượt qua khó khăn trong suốt quá trình làm luận án. TÁC GIẢ iii MỤC LỤC LỜI CAM ĐOAN . i LỜI CẢM ƠN . ii MỤC LỤC . iii DANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT VÀ KÝ HIỆU . vi DANH MỤC CÁC BẢNG . ix DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ ĐỒ THỊ . x MỞ ĐẦU . 1 Chương 1 ĐO CẤU TRÚC
