Ngành công nghiệp bán dẫn trên thế giới đang tiếp tục xu hướng thu nhỏ kích thước, giảm công suất tiêu thụ, giảm điện áp nguồn nuôi, giảm giá thành, tăng mật độ tích hợp, tăng khả năng đáp ứng tần số và mở rộng dải nhiệt độ làm việc của linh kiện . | ðẠI HỌC QUỐC GIA THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH TRƯỜNG ðẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN NGUYỄN THỊ LƯỠNG MÔ PHỎNG TRANSISTOR ỐNG NANÔ CARBON ðỒNG TRỤC LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ TP. Hồ Chí Minh - 2010 ðẠI HỌC QUỐC GIA THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH TRƯỜNG ðẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN NGUYỄN THỊ LƯỠNG MÔ PHỎNG TRANSISTOR ỐNG NANÔ CARBON ðỒNG TRỤC Chuyên ngành Vật lý vô tuyến và ñiện tử Mã số LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ Người hướng dẫn . ðinh Sỹ Hiền Tp. Hồ Chí Minh - 2010 i LỜI CAM ðOAN Tôi xin cam ñoan ñây là công trình nghiên cứu của riêng tôi. Kết quả nêu trong luận án là trung thực và không trùng lặp với các công trình ñã công bố trong và ngoài nước thuộc lĩnh vực nghiên cứu cơ bản. Tác giả Nguyễn Thị Lưỡng LỜI CẢM ƠN Luận án này là một công trình khoa học thuộc lĩnh vực linh kiện ñiện tử nanô là kết quả của sự nỗ lực phấn ñấu mà bản thân tôi có ñược trong nhiều năm học tập giảng dạy và nghiên cứu. Lời ñầu tiên tôi xin bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc ñến . ðinh Sỹ Hiền người ñã tận tình hướng dẫn ñịnh hướng ñộng viên và giúp ñỡ tôi trong suốt quá trình thực hiện luận án này. Tôi xin chân thành tỏ lòng biết ơn ñến Quý thầy giáo cô giáo của Khoa ðiện Tử- Viễn Thông Phòng Quản lý nghiên cứu Khoa học và ðào tạo Sau ðại học của Trường ðại học Khoa học Tự nhiên ñã tạo mọi ñiều kiện thuận lợi cho tôi trong quá trình học tập và thực hiện luận án. Tôi xin chân thành cảm ơn ðặng Mậu Chiến và các cán bộ kỹ thuật phòng thí nghiệm công nghệ nanô ðại học quốc gia Thành phố Hồ Chí Minh ñã tạo ñiều kiện và giúp ñỡ tôi tiếp cận với các thiết bị chế tạo CNTFET. Xin cảm ơn BGH các thầy cô trong khoa ðiện ðiện tử trường ðại học Sư phạm kỹ thuật cùng các ñồng nghiệp bạn bè gần xa luôn ñộng viên và giúp ñỡ tôi trong suốt thời gian thực hiện luận án này. Sau cùng tôi xin cảm ơn gia ñình tôi ba mẹ và các anh chị em ñặc biệt là chồng và con gái ñã luôn quan tâm ñộng viên giúp ñỡ tôi trong những lúc khó khăn nhất. Với tấm lòng luôn biết ơn tôi xin mãi khắc ghi Tác giả Nguyễn Thị Lưỡng iii
