Mục tiêu của đề tài là chế tạo và đặc trưng tính chất của màng phủ cứng nitrua đơn lớp – đa nguyên tố (TiAlXN (X: Si, B, V) và đa lớp – đa nguyên tố TiAlXN/CrN (X: Si, B) có độcứng cao, hệ số ma sát thấp; tìm và khảo sát được ảnh hưởng của các thông số chính quyết định đến tính chất của các loại màng phủ. | BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO VIỆN HÀN LÂM KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ VIỆT NAM HỌC VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ - LƯƠNG VĂN ĐƯƠNG NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ ĐẶC TRƯNG TÍNH CHẤT CỦA MÀNG PHỦ NITRUA TRÊN NỀN HỢP KIM CỨNG WC-Co BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON LUẬN ÁN TIẾN SỸ KHOA HỌC VẬT LIỆU HÀ NỘI 2019 ii BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO VIỆN HÀN LÂM KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ VIỆT NAM HỌC VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ - LƯƠNG VĂN ĐƯƠNG NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ ĐẶC TRƯNG TÍNH CHẤT CỦA MÀNG PHỦ NITRUA TRÊN NỀN HỢP KIM CỨNG WC-Co BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON LUẬN ÁN TIẾN SỸ KHOA HỌC VẬT LIỆU Chuyên ngành Kim loại học Mã số Người hướng dẫn khoa học 1. PGS. TS. Đoàn Đình Phương 2. GS. TS. Phan Ngọc Minh Hà Nội 2019 i LỜI CẢM ƠN Trước tiên tôi xin bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc tới các Thầy hướng dẫn là PGS. TS. Đoàn Đình Phương và GS. TS. Phan Ngọc Minh đã tận tình hướng dẫn chỉ bảo và giúp đỡ tôi trong suốt thời gianthực hiện luận án. Tôi xin chân thành cám ơn Ban Lãnh đạo và Bộ phận đào tạo Viện Khoa học vật liệu đã giúp đỡ tôi trong suốt quá trình học tập nghiên cứu và hoàn thành luận án. Tôi xin trân trọng cảm ơn các đồng nghiệp tại Phòng Vật liệu kim loại tiên tiến Viện Khoa học vật liệu Viện Hàn lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam đã đồng hành động viên và giúp đỡ tôi trong quá trình thực hiện luận án. Tôi xin gửi lời cám ơn đặc biệt tới TS. Kyoung Ill Moon TS. Won Beom Lee và các bạn đồng nghiệptại Viện Công nghệ Công nghiệp Hàn Quốc KITECH đã luôn sẵn sàng giúp đỡ tạo điều kiện cho tôi thực hiện các ý tưởng nghiên cứu của mình. Cuối cùng tôi xin gửi lời cảm ơn sâu sắc nhất tới gia đình bạn bè và người thân. Đặc biệt là vợ và hai con đã luôn động viên giúp đỡ tôitrong suốt thời gian học tập và hoàn thành luận án. ii LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi các kết quả nghiên cứu được trình bày trong luận án là trung thực khách quan và chưa được công bố trong bất kỳ công trình nghiên cứu nào trước đó. Hà Nội ngày tháng năm 2019 Tác giả luận án Lương Văn .
