Đề tài đã nghiên cứu các công nghệ chế tạo các lớp màng mỏng ô-xít bán dẫn nền ZnO và CuO; sử dụng hoàn toàn công nghệ sol-gel kết hợp quay phủ để chế tạo các màng mỏng bán dẫn loại n, bán dẫn loại p và các linh kiện điện tử thử nghiệm; nghiên cứu và tối ưu hóa quy trình chế tạo các màng mỏng bán dẫn loại n, màng mỏng bán dẫn loại p và màng mỏng làm điện cực, . Mời các bạn cùng tham khảo. | ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN Nguyễn Quang Hòa NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG NỀN CuO VÀ ZnO ĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG TRONG LINH KIỆN ĐIỆN TỬ LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ Hà Nội - 2019 ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN Nguyễn Quang Hòa NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG NỀN CuO VÀ ZnO ĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG TRONG LINH KIỆN ĐIỆN TỬ Chuyên ngành Vật lý Chất rắn Mã số LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC 1. TS. Bùi Nguyên Quốc Trình 2. . Bạch Thành Công HÀ NỘI NĂM 2019 LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của cá nhân tôi dưới sự hướng dẫn trực tiếp của các cán bộ hướng dẫn. Các số liệu và kết quả trình bày trong luận án được thực hiện trong quá trình thực hiện luận án và chưa từng được công bố trong bất ký công trình nào khác. Các số liệu thông tin minh chứng và so sánh kết quả từ các nguồn tài liệu tham khảo chỉ phục vụ cho mục đích học thuật và đã được trích dẫn tài liệu theo đúng quy định. Tác giả luận án Nguyễn Quang Hòa LỜI CẢM ƠN Trước hết tôi xin trân trọng gửi lời cảm ơn sâu sắc nhất đến TS. Bùi Nguyên Quốc Trình GS. TS. Bạch Thành Công những người thầy đã tận tình hướng dẫn chỉ bảo và giúp đỡ tôi trong suốt quá trình học tập nghiên cứu và thực hiện luận án. Tôi xin chân thành bày tỏ sự cảm ơn tới các thầy cô trong Bộ môn Vật lý Chất rắn Trung tâm Khoa học Vật liệu và Khoa Vật lý Trường Đại học Khoa học Tự nhiên Đại học Quốc gia Hà Nội đã cho tôi những lời khuyên góp ý hữu ích trong quá trình nghiên cứu và thực hiện luận án. Tôi xin chân thành cảm ơn NCS Lưu Mạnh Quỳnh Trung tâm Khoa học Vật liệu Khoa Vật lý ĐHKHTN- ĐHQGHN GS. Akihiko Fujiwara Đại học Kwansei Gakuin Nhật Bản đã giúp đỡ tôi đo đạc khảo sát các tính chất của vật liệu linh kiện và hoàn thiện luận án. Tôi xin chân thành cảm ơn các thầy cô Khoa Vật lý Phòng Sau đại học ĐHKHTN đã tạo điều kiện giúp đỡ tôi trong suốt thời gian học tập và thực hiện luận án này. Tôi xin gửi lời cảm ơn chân thành đến các đồng nghiệp bạn bè đã
