Mục đích của luận án là xây dựng lí thuyết về sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong tinh thể bán dẫn dưới ảnh hưởng của nhiệt độ, áp suất và độ biến dạng. Áp dụng các công thức lí thuyết thu được để tính số cho các đại lượng khuếch tán như năng lương kích hoạt Q, hệ số trước hàm mũ D0 và hệ số khuếch tán D của một số chất cụ thể. Các kết quả tính số sẽ được so sánh với thực nghiệm và các tính toán bằng lí thuyết khác để thấy được mức độ tin cậy của phương pháp đã chọn. | 1 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO ĐẠI HỌC SƢ PHẠM HÀ NỘI Nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phƣơng pháp thống kê mômen Phan Thị Thanh Hồng Chuyên ngành Vật lí lí thuyết và vật lí toán Mã số Ngƣời hƣớng dẫn 1. . Vũ Văn Hùng 2. . Nguyễn Thanh Hải 2013 2 MỞ ĐẦU 1. Lý do chọn đề tài Khuếch tán là một hiện tượng rất cơ bản trong tự nhiên và nó xảy ra trong tất cả các môi trường vật chất 1 Trong môi trường chất khí chất lỏng chất rắn trong động vật thực vật trong vũ trụ Do vậy nghiên cứu để hiểu các quá trình khuếch tán chính là nghiên cứu quy luật cơ bản của tự nhiên. Nó sẽ góp phần làm cho con người hiểu rõ về các quá trình vận động của vật chất và góp phần khám phá ra những quy luật cơ bản của quá trình vận động vật chất trong tự nhiên nhất là sự vận động trong thế giới vi mô. Chính vì ý nghĩa đó nên từ xưa đến nay hiện tượng khuếch tán trong tự nhiên là một đề tài hấp dẫn và luôn có những vấn đề mới đặt ra để nghiên cứu. Trong từng thời kì con người đã đi sâu tìm hiểu quá trình khuếch tán ở các mức độ khác nhau từ việc quan tâm nghiên cứu các hạt bụi di chuyển trong không khí đến việc nghiên cứu các chất màu lan truyền trong chất lỏng quan sát sự thẩm thấu các chất qua các màng động và thực vật coi quá trình khuếch tán là một hiện tượng lí sinh Từ đầu thế kỉ XX con người đã nghiên cứu rất mạnh các thành phần vật chất khác nhau trong các kim loại để tạo nên các hợp kim có tính chất đặc biệt phục vụ cuộc sống của con người. Đặc biệt là sau khi Schockley phát minh ra hiệu ứng tranzito vào năm 1948 ngành công nghiệp điện tử phát triển như vũ bão thì kĩ thuật khuếch tán các nguyên tử tạp chất vào vật liệu bán dẫn cũng phát triển nhanh chóng nhằm chế tạo các linh kiện bán dẫn mạch tổ hợp các linh kiện cảm biến thông minh linh kiện quang điện tử bán dẫn Các linh kiện bán dẫn vi điện tử là nền tảng để chế tạo các thiết bị điện tử tiên tiến các hệ thống thiết bị truyền thông công nghệ thông tin máy tính quang lượng tử .
