Luận án nghiên cứu, thiết kế và xây dựng hệ thống cảm biến điện dung với những mục đích: Phát hiện độ nghiêng và phát hiện vi hạt trong kênh vi lỏng. Để hiểu rõ hơn, mời các bạn tham khảo chi tiết nội dung luận án này. | BỘ THÔNG TIN VÀ TRUYỀN THÔNG HỌC VIỆN CÔNG NGHỆ BƯU CHÍNH VIỄN THÔNG NGHIÊN CỨU PHÁT TRIỂN HỆ THỐNG CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG ỨNG DỤNG PHÁT HIỆN ĐỘ NGHIÊNG VÀ VI HẠT LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT Chuyên ngành Kỹ thuật điện tử Hà Nội - 2020 ii LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan dưới đây là luận án tốt nghiệp của riêng tôi dưới sự hướng dẫn của . Nguyễn Bình Học viện Công nghệ Bưu chính Viễn thông. Tất cả những kết quả và số liệu trong luận án này là trung thực và có được từ những nghiên cứu mà tôi và nhóm nghiên cứu của tôi đã thực hiện trong quá trình làm luận án. Hà Nội ngày tháng 08 năm 2020 Nghiên cứu sinh Trần Thị Thúy Hà iii LỜI CẢM ƠN Trong quá trình thực hiện luận án quot Nghiên cứu phát triển hệ thống cảm biến điện dung ứng dụng phát hiện độ nghiêng và vi hạt quot Tôi đã nhận được rất nhiều sự giúp đỡ tạo điều kiện của Ban lãnh đạo Học viện Công nghệ Bưu chính Viễn thông Khoa Đào tạo sau Đại học - Học viện Công nghệ Bưu chính Viễn thông Giảng viên Bộ môn MEMS Khoa Điện tử - Viễn thông Trường Đại học Công nghệ - Đại học Quốc gia Hà Nội. Tôi xin bày tỏ lòng cảm ơn chân thành về sự giúp đỡ này. Tôi xin bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc tới Giáo sư Tiến sĩ Nguyễn Bình Phó Giáo sư Tiến Sĩ Bùi Thanh Tùng - những người đã tận tình hướng dẫn để tôi có thể hoàn thành luận án này. Đồng thời tôi cũng xin bày tỏ lòng biết ơn chân thành tới nhóm nghiên cứu của tôi đã đồng hành và hỗ trợ tôi trong quá trình nghiên cứu. Tôi cũng xin bày tỏ lòng biết ơn chân thành tới các đồng nghiệp trong khoa Kỹ thuật Điện tử 1 Học viện Công Nghệ Bưu chính Viễn thông cũng như các đồng nghiệp ở khoa Điện tử-Viễn thông Đại học Công Nghệ Đại Học Quốc Gia Hà Nội đã hỗ trợ tôi trong suốt quá trình làm luận án. Nhân dịp này Tôi cũng xin được gửi lời cảm ơn chân thành tới gia đình bạn bè đã luôn bên cạnh cổ vũ động viên giúp đỡ Tôi trong suốt quá trình thực hiện luận án tiến sĩ. Hà Nội ngày tháng 08 năm 2020 Nghiên cứu sinh iv LỜI MỞ ĐẦU Lý do nghiên cứu Ngày nay hệ thống vi cơ điện tử được biết đến là một công
