Mục tiêu nghiên cứu đề tài là thu được công thức tính và giá trị độ uống cong của màng tinh thể AlN do sự không tương thích mạng và nhiệt giữa AlN và α-Al2O3 bằng nhiễu xạ tia X thông thường. Làm sáng tỏ cấu trúc tinh thể vi mô chẳng hạn cấu trúc domain, dao động nghiêng mạng, dao động hằng số mạng bằng phương pháp nhiễu xạ tia X vi mô và kính hiển vị điện tử truyền qua. | BỘ GIÁ O DỤC VÀ ĐÀ O TẠO ĐẠI HỌC ĐÀ NẴNG TÓM TẮT BÁO CÁO TỔNG KẾT ĐỀ TÀI KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ CẤP ĐẠI HỌC ĐÀ NẴNG NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC TINH THỂ CỦA MÀNG TINH THỂ AlN ĐƯỢC NUÔI BẰNG PHƯƠNG PHÁP MỌC GHÉP PHA HƠI HYĐRUA TRÊN ĐẾ SAPPHIRE ĐƯỢC KẾT CẤU RÃNH Mã số Đ2015-03-79 Chủ nhiệm đề tài TS. Đinh Thanh Khẩn Đà Nẵng 12 2016 MỞ ĐẦ U ̀ h hın 1. Tổ ng quan tın ̃ vưc̣ củ a đề tà i ̀ h nghiên cứu thuô ̣c lınh Aluminum nitride AlN với Eg eV đã và đang được nghiên cứu một cách rộng rãi cho việc phát triển các thiết bị quang điện tử hoạt động ở vùng tử ngoại sâu. Do những khó khăn trong việc chế tạo tinh thể AlN ở dạng khối phương pháp mọc ghép màng tinh thể AlN trên các đế như α-Al2O3 và 6H-SiC thường được áp dụng. Tuy nhiên sự không tương thích về hằng số mạng và nhiệt giữa màng AlN và các đế α-Al2O3 và 6H-SiC là một khó khắn lớn trong việc thu được các màng tinh thể AlN chất lượng cao. Sự không tương thích này làm cho các màng tinh thể AlN được chế tạo trên các đế α- Al2O3 và 6H-SiC thường có chất lượng không cao như xuất hiện của các khuyết tật đường dislocation co giãn về hằng số mạng strain uốn cong các mặt mạng hay sự nghiêng của các mặt mạng. Gần đây việc sử dụng các đế được tạo rãnh đã nâng cao đáng kể chất lượng của các màng tinh thể AlN. Những đế được tạo rãnh như vậy không chỉ tạo ra sự mọc tinh thể của màng theo phương ngang ELO mà còn tạo ra những khoảng trống kích thước nano nanovoid . Việc sử dụng kính hiển vi điện tử truyền qua TEM đã chính minh rằng ELO và nanovoid đóng một vai trò quan trọng trong việc nâng cao chất lượng của các màng tinh thể mọc trên các đế được tạo rãnh. Một số báo cáo gần đây đã chỉ ra rằng các màng tinh thể mọc trên các đế được tạo rãnh thường trải qua sự nghiêng mạng tinh thể. Nhiễu xạ tia X đã được sử dụng một cách rộng rãi để xác định những sự nghiêng mạng như vậy. Đặc biệt nhiễu xạ tia X vi mô đã được chính minh là công cụ hữu hiệu trong việc nghiên cứu các tính chất tinh thể học vi mô . Nguồn gốc của sự .
