Bài viết này trình bày về thiết bị spin coater được thiết kế, chế tạo và ứng dụng để tổng hợp vật liệu màng mỏng đồng nhất trên chất nền phẳng với chi phí phù hợp, dễ sử dụng, khả năng hoạt động ở 2 pha tốc độ với khoảng tốc độ điều chỉnh là 300 - 4800 rpm, độ ổn định tốc độ cao và phù hợp với chất nền phẳng có nhiều hình dạng khác nhau với kích thước tối đa 10 cm. Mời các bạn cùng tham khảo! | Tạp chí Khoa học và Công nghệ Số44A 2020 TỔNG HỢP LỚP FILM BÁN DẪN MẦM TINH THỂ ZNO TRÊN KÍNH DẪN TRONG SUỐT ITO VỚI THIẾT BỊ TỰ CHẾ SPIN COATING VĂN THANH KHUÊ HUỲNH NGUYỄN VIỆT ĐỨC VÕ THÀNH CÔNG NGUYỄN VĂN TRỌNG Khoa Công nghệ Hoá học Trường Đại học Công nghiệp Thành phố Hồ Chí Minh vanthanhkhue@ Abstract. Thiết bị spin coater được thiết kế chế tạo và ứng dụng để tổng hợp vật liệu màng mỏng đồng nhất trên chất nền phẳng với chi phí phù hợp dễ sử dụng khả năng hoạt động ở 2 pha tốc độ với khoảng tốc độ điều chỉnh là 300 - 4800 rpm độ ổn định tốc độ cao và phù hợp với chất nền phẳng có nhiều hình dạng khác nhau với kích thước tối đa 10 cm. Thiết bị được phát triển trên nền tảng Arduino và công nghệ in nhựa 3D . Film bảng mỏng của vật liệu chất bán dẫn mầm tinh thể ZnO phủ trên đế kính dẫn trong suốt ITO có kích thước 25 mm x 25 mm được tổng hợp bằng thiết bị tự chế spin-coater và phương pháp nhiệt. Các phương pháp phân tích hóa lý hiện đại scanning electron microscopy và x-ray diffraction được áp dụng để nghiên cứu hình thái học và cấu trúc tinh thể của lớp vật liệu. Lớp mầm tinh thể ZnO là giai đoạn quan trọng trước khi phát triển tinh thể với các hình thù khác nhau ứng dụng trong điện cực quang điện thiết bị điện tử quang điện hoá như màn hình cảm ứng cảm biến transistor solar cell. Từ khóa. Vật liệu bán dẫn Zinc oxide spin-coating film bản mỏng tinh thể. CONSTRUCTING A ZnO NUCLEI CRYSTAL SEMICONDUCTOR LAYER ONTO ITO GLASS WITH A CUSTOM-MADE SPIN-COATING EQUIPMENT Abstract. A custom-made spin coating equipment was designed and fabricated to apply in synthesizing the homogeneous thin films of nuclei materials with low cost and easy to use. The as- fabricated equipment can work at the rate of from 300 to 4800 rpm. The equipment was built on Arduino technique and 3D printing technology. On the other hand thin film of ZnO crystalline nuclei material was synthesized on an ITO glass with diameter 25 mm x 25 mm by using the as- fabricated spin coater and .
