Luận án trình bày các nội dung chính sau: Tổng quan về vật liệu từ mềm và cảm biến từ trường; Các phương pháp thực nghiệm; Nghiên cứu cấu trúc và tính chất của màng NiFe; Nghiên cứu hiệu ứng từ-điện trở dị hướng trên các cảm biến cầu Wheatstone; Thử nghiệm ứng dụng của cảm biến cầu Wheatstone. | ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ _ Lê Khắc Quynh NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ CHẾ TẠO CẢM BIẾN MICRÔ-NANÔ DỰA TRÊN VẬT LIỆU TỪ GIẢO VÀ TỪ-ĐIỆN TRỞ Chuyên ngành Vật liệu và linh kiện nano Mã số Chuyên ngành đào tạo thí điểm TÓM TẮT LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LIỆU VÀ LINH KIỆN NANO Hà Nội 2018 Công trình được hoàn thành tại Trường Đại học Công nghệ Đại học Quốc gia Hà Nội Người hướng dẫn khoa học PGS. TS Đỗ Thị Hương Giang TS. Trần Mậu Danh Phản biện . . Phản biện . . Phản biện . . Luận án sẽ được bảo vệ trước Hội đồng cấp Đại học Quốc gia chấm luận án tiến sĩ họp tại . vào hồi giờ ngày tháng năm Có thể tìm hiểu luận án tại - Thư viện Quốc gia Việt Nam - Trung tâm Thông tin - Thư viện Đại học Quốc gia Hà Nội MỞ ĐẦU Các loại cảm biến linh kiện hoạt động dựa trên hiệu ứng từ spintronics bao gồm cảm biến từ-điện trở dị hướng AMR từ điện-trở khổng lồ GMR cảm biến Hall phẳng PHE cảm biến từ-điện trở xuyên hầm TMR . Với ưu điểm về kích thước độ nhạy cao dễ dàng tích hợp với các linh kiện điện-điện tử các cảm biến từ-điện trở được khai thác và ứng dụng sâu rộng trong cuộc sống có thể kể ra như cảm biến GMR 86 125 62 cảm biến PHE 72 94 cảm biến TMR 14 51 94 . Trong các linh kiện cảm biến từ-điện trở kể trên thì linh kiện cảm biến từ-điện trở dị hướng có cấu trúc vật liệu đơn giản hơn cả nhưng vẫn cho độ nhạy độ phân giải cao dải tần số làm việc rộng độ nhạy có thể đạt được cỡ 6 mV Oe 10 và có thể cho nhiều ứng dụng vượt trội hơn hẳn trong đo lường từ trường 16 95 đo dòng điện độ chính xác cao sai số cỡ 0 05 77 59 cảm biến phát hiện các phần tử sinh học. Xét về hiệu quả kinh tế thì cảm biến AMR này do cấu trúc đơn giản nên dễ chế tạo giá thành rẻ thiết kế linh hoạt và khả năng tương thích với công nghệ vi điện tử dễ dàng chủ động thiết kế và điều chỉnh công nghệ chế tạo đáp ứng theo từng đặc thù ứng dụng cụ thể. Nội dung của luận án là chế tạo cảm biến dựa trên hiệu ứng từ-điện trở dị hướng AMR dựa trên vật liệu sắt từ mềm dạng màng có cấu trúc .
