Luận án trình bày các nội dung chính sau: Chế tạo các màng mỏng (sắt điện, kênh dẫn, điện cực) bằng phương pháp dung dịch với chất lượng màng tốt, không nứt gãy, độ lặp lại cao mở ra hướng chế tạo; Khảo sát một cách có hệ thống sự ảnh hưởng của nhiệt độ ủ, chiều dày của các màng mỏng điện cực; Thiết kế, chế tạo và khảo sát hoạt động của các bộ nhớ sắt điện FGT. | ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƢỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ Đỗ Hồng Minh NGHIÊN CỨU TÍNH CHẤT ĐIỆN VÀ ĐẶC TRƢNG NHỚ SẮT ĐIỆN CỦA MÀNG ĐA LỚP MICRO NANO CHẾ TẠO BẰNG PHƢƠNG PHÁP DUNG DỊCH Chuyên ngành Vật liệu và Linh kiện nao Chuyên ngành đào tạo thí điểm TÓM TẮT LUẬN ÁN TIẾN SĨ CHUYÊN NGÀNH VẬT LIỆU VÀ LINH KIỆN NANO Hà Nội - 2018 Công trình được hoàn thành tại Bộ môn Vật liệu và Linh kiện bán dẫn nano Khoa Vật lý kỹ thuật và Công nghệ nano Trường Đa ̣i học Công nghệ Đa ̣i học Quốc gia Hà Nội Người hướng dẫn khoa học TS. Bùi Nguyên Quốc Trình PGS. TS. Phạm Đức Thắng Phản biện 1 PGS. TS. Lê Văn Hồng Phản biện 2 PGS. TS. Phương Đình Tâm Luận án sẽ được bảo vệ trước Hội đồng cấp Đại học Quốc gia chấm luận án tiến sĩ họp tại Trường Đại học Công nghệ - Đại học Quốc Gia Hà Nội vào hồi giờ ngày tháng năm 2018 Có thể tìm hiểu luận án tại 1. Thư viện Quốc gia Việt Nam 2. Trung tâm Thông tin - Thư viện Đại học Quốc gia Hà Nội MỞ ĐẦU Trong các thiết bị điện tử một chi tiết không thể thiếu chính là các bộ nhớ. Có nhiều dòng bộ nhớ có cấu tạo nguyên tắc hoạt động chức năng và tốc độ rất khác nhau. Có hai dòng bộ nhớ chính là bộ nhớ tự xóa mà SRAM DRAM và bộ nhớ không tự xóa mà điển hình là bộ nhớ sắt điện FGT. Bộ nhớ FGT có tốc độ nhanh không bị mất dữ liệu khi mất nguồn và không bị phá hủy khi đọc. Bộ nhớ sắt điện thường gồm 4 lớp màng mỏng là màng mỏng làm điện cực trên màng mỏng làm kênh dẫn màng mỏng sắt điện và màng mỏng làm điện cực dưới. Các lớp màng này được chế tạo trên một số loại đế. Các nghiên cứu trong luận án này bao gồm Chế tạo các màng mỏng sắt điện kênh dẫn điện cực bằng phương pháp dung dịch với chất lượng màng tốt không nứt gãy độ lặp lại cao mở ra hướng chế tạo. Khảo sát một cách có hệ thống sự ảnh hưởng của nhiệt độ ủ chiều dày của các màng mỏng điện cực màng mỏng kênh dẫn và một số loại đế lên các tính chất sắt điện nhằm mục đích cải thiện chất lượng của màng mỏng sắt điện. Thiết kế chế tạo và khảo sát hoạt động của các bộ nhớ sắt điện FGT. Đặc biệt bằng công nghệ
