Sensitivity analysis of mems capacitive pressure sensor using carbon diaphragm

In this paper, we present simulation and evaluation of sensitivity of electrical and mechanical effects of MEMS based capacitive pressure sensor with rectangle diaphragm using COMSOL Multiphysics. This includes diaphragm deflection, sensitivity and linearity analysis, capacitance and thermal considerations. Capacitance values are plotted under uniform external pressure 10kPa. Selected materials include silicon and carbon, acknowledging that carbon has shown the best and steady result. Simulation results also show how the capacitance and diaphragm deformation varies under increasing pressure. |

Không thể tạo bản xem trước, hãy bấm tải xuống
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.