Mục tiêu của đề tài nghiên cứu nhằm chế tạo được các cấu trúc chip điện cực đa cảm biến trên đế thủy tinh chịu nhiệt Pyrex, đốt nóng trực tiếp vùng nhạy khí trên cơ sở thay đổi nhiệt độ hoạt động giữa các đơn cảm biến được tích hợp; chế tạo được các đơn cảm biến màng mỏng, đa lớp SnO2 biến tính Pt, Ag nhằm tăng cường độ đáp ứng, độ chọn lọc với các khí NH3, H2và H2S; chế tạo được các hệ đa cảm biến màng mỏng và dây SnO2 biến tính Pt, Ag có kích thước nhỏ gọn, công suất tiêu thụ thấp. | LỜI CAM ĐOAN Tác giả xin cam đoan nội dung của luận án này là công trình nghiên cứu của riêng tác giả dưới sự hướng dẫn của . Nguyễn Văn Duy và TS. Matteo Tonezzer. Các số liệu và kết quả trong luận án này hoàn toàn trung thực và chưa được tác giả khác công bố. Hà Nội ngày tháng năm 2021 TM. tập thể hướng dẫn Tác giả . Nguyễn Văn Duy Nguyễn Xuân Thái i LỜI CẢM ƠN Luận án tiến sĩ này được hoàn thành tại Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu ITIMS Trường Đại học Bách khoa Hà Nội dưới sự hướng dẫn khoa học của . Nguyễn Văn Duy và TS. Matteo Tonezzer. Nghiên cứu sinh xin bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc tới các thầy về định hướng khoa học và phương pháp nghiên cứu. Dưới sự chỉ bảo tận tình cũng như sự quan tâm giúp đỡ và điều kiện mà các thầy dành cho học trò đã giúp học trò hoàn thành được luận án này. Nghiên cứu sinh xin được chân thành cảm ơn . Nguyễn Đức Hòa . Hugo Nguyễn . Nguyễn Văn Hiếu đã chỉ dẫn về khoa học giúp đỡ và góp ý để luận án được hoàn thiện. Nghiên cứu sinh xin chân thành cảm ơn các cán bộ thuộc Phòng thí nghiệm Nghiên cứu phát triển và Ứng dụng Cảm biến nano các anh chị em nghiên cứu sinh các bạn học viên cao học đại học của nhóm đã nhiệt tình giúp đỡ hỗ trợ chia sẻ ý tưởng khoa học trong quá trình nghiên cứu sinh thực hiện luận án. Tôi xin chân thành cảm ơn Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu - ITIMS Viện Đo lường Việt Nam Phòng Đào tạo - Trường Đại học Bách khoa Hà Nội đã tạo điều kiện cho tôi được học tập nghiên cứu và hoàn thành luận án này. Cuối cùng tôi xin gửi lời cảm ơn chân thành tới toàn thể gia đình bạn bè và đồng nghiệp đã động viên khích lệ tôi trong suốt thời gian học tập nghiên cứu và thực hiện luận án. Tác giả Nguyễn Xuân Thái ii MỤC LỤC LỜI CAM ĐOAN . i LỜI CẢM ƠN . ii DANH MỤC CÁC KÍ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT . vii DANH MỤC BẢNG BIỂU . ix DANH MỤC HÌNH ẢNH . x GIỚI THIỆU CHUNG . 1 1. Lý do chọn đề tài . 1 2. Mục tiêu nghiên cứu. 4 3. Đối tượng và phạm vi nghiên cứu . 4 4. Phương pháp nghiên cứu. 5
