Đề tài hệ thống hóa các khái niệm cơ bản của phương pháp phân tích RBS bao gồm hệ số động học tán xạ ngược, sự suy giảm năng lượng, sự nhòe năng lượng và hình học tán xạ. Từ đó nêu ra sự hình thành phổ RBS và khái quát về các yêu tố có thể bị ảnh hưởng bởi điều kiện thực nghiệm. | Tính toán và tối ưu hóa điều kiện thực nghiệm trong phân tích RBS trên máy gia tốc HUS 5SDH-2 Tandem Pelletron Vi Hồ Phong Trường Đại học Khoa học Tự nhiên Luận văn ThS Chuyên ngành Vật lý nguyên tử Mã số 60 44 01 06 Người hướng dẫn . Lê Hồng Khiêm Năm bảo vệ 2013 Abstract. Hệ thống hóa các khái niệm cơ bản của phương pháp phân tích RBS bao gồm hệ số động học tán xạ ngược sự suy giảm năng lượng sự nhòe năng lượng và hình học tán xạ. Từ đó nêu ra sự hình thành phổ RBS và khái quát về các yêu tố có thể bị ảnh hưởng bởi điều kiện thực nghiệm. Tính toán và tối ưu hóa các điều kiện thực nghiệm trong kỹ thuật RBS Nghiên cứu việc xây dựng phần mềm mô phỏng phổ RBS và các thông số có thể rút ra được từ phần mềm. Tiếp theo đó khảo sát quá trình thực nghiệm xác định các thông số để tối ưu hóa thí nghiệm. Trình bày một số kết quả mô phỏng của phần mềm đã xây dựng cũng như kết quả tính toán trên mẫu chuẩn. Từ đó đưa ra điều kiện là thực nghiệm tối ưu và nhận xét về các kết quả thu được. Keywords. Vật lý nguyên tử Máy gia tốc HUS 5SDH-2 Tandem Pelletron Phân tích RBS. LVTS VLNT MỞ ĐẦU Hệ máy gia tốc HUS 5SDH-2 Tandem Pelletron đặt tại trường Đại học Khoa học tự nhiên được lắp đặt và đưa vào sử dụng từ năm 2011. Một trong những ứng dụng của hệ máy gia tốc là phân tích vật liệu bằng phương pháp phổ tán xạ ngược Rutherford gọi tắt là RBS Rutherford Backscattering Spectrometry . RBS được ứng dụng rộng rãi trong khoa học vật liệu để khảo sát các tính chất của màng mỏng vật liệu cấy ghép hay vật liệu bán dẫn vì phương pháp phân tích này có những ưu điểm chính sau đây - Cho phép xác định phân bố nguyên tố theo chiều dày. - Độ sâu phân tích cỡ micron thích hợp cho việc phân tích các lớp vật liệu dưới bề mặt mẫu. - Có khả năng xác định các tạp chất trong các lớp vật liệu. - Có khả năng xác định các sai hỏng trong cấu trúc tinh thể nếu áp dụng kỹ thuật channeling. - Có khả năng phân tích song song kết hợp với các kỹ thuật phân tích bằng chùm ion khác như PIXE NRA Trong phương .
