Luận văn Thạc sĩ Khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng ZnO bằng phương pháp CVD

Đề tài nghiên cứu đã tiến hành tổng hợp và nghiên cứu tính chất một số β-đixetonat và cacboxylat kim loại có khả năng thăng hoa, sử dụng các phức chất này để chế tạo màng mỏng ZnO, nghiên cứu tính chất của màng. | ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƢỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN - Nguyễn Thị Thanh Nga NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG ZnO BẰNG PHƢƠNG PHÁP CVD LUẬN VĂN THẠC SĨ KHOA HỌC Hà Nội - Năm 2012 ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƢỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN - Nguyễn Thị Thanh Nga NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG ZnO BẰNG PHƢƠNG PHÁP CVD Chuyên ngành Hóa vô cơ Mã số 60 44 25 LUẬN VĂN THẠC SĨ KHOA HỌC NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC PGS. TS. Triệu Thị Nguyệt Hà Nội - Năm 2012 MỤC LỤC LỜI CẢM ƠN MỞ ĐẦU . 2 CHƢƠNG I TỔNG QUAN . 3 . Khả năng tạo phức của Zn2 . 3 . Tổng quan về các phối tử . 4 . Các β đixeton và các β- đixetonat . 4 . Đặc điểm cấu tạo và khả năng tạo phức của các β-đixeton . 4 . Khả năng thăng hoa của các β-đixetonat kim loại và ứng dụng của chúng. 6 . Axit cacboxylic và cacboxylat kim loại . 8 . Đặc điểm cấu tạo và khả năng tạo phức của các axit monocacboxylic . 8 . Khả năng thăng hoa của các cacboxylat kim loại và ứng dụng của chúng. 11 . Màng mỏng và phƣơng pháp lắng đọng hơi hóa học . 12 . Màng mỏng và ứng dụng của màng mỏng . 12 . Các phƣơng pháp chế tạo màng mỏng . 15 . Phƣơng pháp lắng đọng hơi hoá học Chemical Vapour Deposition CVD . 17 . Một số phƣơng pháp nghiên cứu màng mỏng . 20 . Phƣơng pháp nhiễu xạ tia X XRD . 20 . Kính hiển vi điện tử quét SEM . 22 . Phƣơng pháp phổ phát quang . 23 . Phƣơng pháp phổ tử ngoại khả kiến UV Vis . 25 . Phƣơng pháp đo bề dày màng và hình thái học bề mặt . 26 CHƢƠNG 2 ĐỐI TƢỢNG MỤC ĐÍCH NỘI DUNG VÀ PHƢƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU . 27 . Đối tƣợng mục đích và phƣơng pháp nghiên cứu . 27 . Axetylaxeton HA . 27 . Các phƣơng pháp nghiên cứu . 28 . Xác định hàm lƣợng kim loại trong phức chất. . 28 . Phƣơng pháp phổ hấp thụ hồng ngoại . 29 . Phƣơng pháp phân tích nhiệt . 30 . Phƣơng pháp thăng hoa ở điều kiện áp suất thấp . 30 . Giản đồ nhiễu xạ tia X . 31 . Phổ tử ngoại khả kiến UV Vis . 31 . Phổ huỳnh quang . 32 . Đo bề dày và .