Investigating effect of surface roughness pattern on dynamic performance of mems resonators in various types of gases and gas rarefaction

The thermoelastic damping (TED) and support loss are involved to calculate the total Q-factor of micro-beam resonator. The effect of surface roughness pattern (film thickness ratio and Peklenik number) on Q-factors of micro-beam resonators is then discussed. It is found that the effect of roughness pattern becomes more considerably on Q-factor in lower gas rarefaction (higher pressure) and higher effective viscosity of the gas. |

Không thể tạo bản xem trước, hãy bấm tải xuống
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.