Luận văn nghiên cứu và phát triển màng mỏng sắt điện nhằm định hướng cho những ứng dụng trong bộ nhớ sắt điện (FeRAM), các sensor, hay thiết bị vi cơ điện tử (MEMS/NEMS) đã và đang diễn ra rất mạnh mẽ và đa dạng trong những năm gần đây. Vật liệu oxit cấu trúc tinh thể dạng perovskite, chẳng hạn như PbZr0,4Ti0,6O3 (ký hiệu là PZT), có những ưu điểm vượt trội như độ phân cực điện dư lớn, trường kháng điện nhỏ thích hợp với các thiết bị hoạt động ở thế thấp và nhiệt độ kết tinh có thể hạ thấp hơn so với một số loại vật liệu sắt điện khác | ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƢỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN - VŨ THỊ HUYỀN TRANG TÍCH HỢP TỤ ĐIỆN SẮT ĐIỆN MÀNG MỎNG CHẾ TẠO BẰNG PHƢƠNG PHÁP DUNG DỊCH TRÊN ĐẾ ĐƠN TINH THỂ Chuyên ngành Vật lý chất rắn Mã số 60440104 LUẬN VĂN THẠC SĨ KHOA HỌC NGƢỜI HƢỚNG DẪN KHOA HỌC TS. BÙI NGUYÊN QUỐC TRÌNH Hà Nội - 2015 LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan Luận văn này là kết quả nghiên cứu do tôi thực hiện dưới sự hướng dẫn khoa học của TS. Bùi Nguyên Quốc Trình. Các kết quả trình bày trong Luận văn là trung thực chưa được công bố trong các công trình nghiên cứu khác. Tôi xin chịu hoàn toàn trách nhiệm về lời cam đoan trên. Học viên Vũ Thị Huyền Trang MỤC LỤC LỜI CẢM ƠN .i BẢNG KÝ HIỆU CHỮ CÁI VIẾT TẮT . ii DANH MỤC BẢNG BIỂU . iii DANH MỤC HÌNH VẼ .iv TÓM TẮT . viii CHƢƠNG 1 - TỔNG . Ứng dụng của tụ điện sắt điện trong công nghiệp điện tử .1 Ứng dụng trong sensor .1 Trong bộ nhớ FeRAM .7 . Vật liệu điển hình sử dụng trong tụ điện sắt điện .9 Vật liệu cấu trúc peroskite kẹp lớp Bi .9 . Họ vật liệu perovskite Pb ZrxTi1-x O3 PZT .12 . Công nghệ chế tạo màng mỏng PZT trên đế đơn tinh thể và đa tinh thể .16 . Phương pháp lắng đọng laser xung PLD và phún xạ RF .17 . Phương pháp lắng đọng pha hơi hóa học .19 . Phương pháp Sol- gel .20 . Mục tiêu nghiên cứu luận văn thạc sĩ . 23 CHƢƠNG 2 PHƢƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM VÀ KHẢO SÁT .25 . Phương pháp chế tạo điện cực dưới TiO2 Pt .25 Chế tạo lớp TiO2 .25 Chế tạo lớp Pt .26 . Phương pháp chế tạo màng mỏng PZT .27 . Nguyên lý của phương pháp quay phủ spin-coating . .27 . Dung dịch tiền tố trong quá trình quay phủ .28 . Quy trình chế tạo màng mỏng PZT .28 . Chế tạo tụ điện sắt điện .31 . Hệ phún xạ điện cực trên Pt .31 . Cấu trúc tụ điện sắt điện .31 . Thiết bị khảo sát và đánh giá tụ điện sắt điện. .33 . Thiết bị nhiễu xạ tia X .33 . Kính hiển vi điện tử quét SEM .34 . Kính hiển vi lực nguyên tử AFM .35 . Thiết bị đo
