Lecture ECE 6450 Microelectronic - Chapter 13&14: Thin film deposition and epitaxy (Chemical vapor deposition, metal organic CVD and molecular beam epitaxy)

Lecture ECE 6450 Microelectronic - Chapter 13: Thin film deposition and epitaxy (Chemical vapor deposition, metal organic CVD and molecular beam epitaxy). After studying this section will help you understand chemical gas sources are thermally, optically, or electrically (plasma) reacted with a surface to “leave” behind deposits with reaction byproducts pumped out of the reaction tube or vacuum chamber. |

Không thể tạo bản xem trước, hãy bấm tải xuống
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.