Thermal kinetics of free volume in porous spin-on dielectrics: Exploring the network- and pore-properties

Comprehensive ex-situ and in-situ investigations of thermal curing processes in spin-on ultra-low-k thin films conducted by positron annihilation spectroscopy and Fourier transform infrared spectroscopies are presented. Positron annihilation lifetime spectroscopy of ex-situ cured samples reveals an onset of the curing process at about 200 ◦C, which advances with increasing curing temperature. |

Không thể tạo bản xem trước, hãy bấm tải xuống
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
8    73    1    27-04-2024
91    371    4    27-04-2024
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.