Micro cantilever beam fabrication and characterization

In this paper, cantilever beams are designed and fabricated on silicon wafers. L-Edit software is used to design two masks for light exposure step. Fabrication process including photolithography, copper thermal evaporation, and etching is done to achieve the designed cantilever beams. |

Không thể tạo bản xem trước, hãy bấm tải xuống
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
105    287    5    19-04-2024
2    107    3    19-04-2024
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.