Bài viết Nghiên cứu chế tạo màng mỏng chống mài mòn TiZrN bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron RF nghiên cứu xác định các đặc tính cơ học và ma sát, sử ảnh hưởng của các thông số công nghệ (trong điều kiện nguồn khí phản ứng N2 cung cấp khác nhau). Từ đó tìm ra phạm vi và thông số kiểm soát để tìm ra lớp phủ có tính chất tối ưu nhất. | Hóa học amp Môi trường Nghiên cứu chế tạo màng mỏng chống mài mòn TiZrN bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron RF Lâm Ngọc Nam1 Phạm Hồng Thạch1 Golosov Dmitry Anatolievich2 1 Viện Nhiệt đới Môi trường Viện Khoa học và Công nghệ quân sự 2 Trường đại học Quốc gia Tin học và Vô tuyến điện tử Belarus. Email ngocnam240395@ Nhận bài 25 10 2022 Hoàn thiện 15 11 2022 Chấp nhận đăng 14 12 2022 Xuất bản 20 12 2022. DOI https TÓM TẮT Các lớp phủ chống mài mòn đa chất dựa trên màng TiN có tiềm năng ứng dụng trong các ngành cơ khí và lĩnh vực quốc phòng. Trong nghiên cứu này chúng tôi thực hiện chế tạo màng TixZr1-xN bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron rf trên các đế Titan VT1-0 nghiên cứu sự ảnh hưởng của nồng độ khí N2 trong hỗn hợp khí N2 Ar đến các tính chất cơ học và tính ma sát của màng cụ thể là độ cứng vi mô bằng phương pháp Knoop hệ số ma sát thể tích mài mòn bằng phương pháp mài mòn độ dày của màng bằng phương pháp giao thoa ánh sáng. Kết quả cho thấy ở nồng độ khí N2 trong hỗn hợp khí N2 Ar 6-8 đảm bảo hình thành màng có độ dày đồng đều với độ cứng vi mô lên đến 25 69 GPa hệ số ma sát thấp hơn 0 15 và thể tích mài mòn thấp hơn 10-7 mm3. Nghiên cứu đã chứng minh được rằng việc bổ sung thêm thành phần nguyên tố Zr vào màng TiN giúp cải thiện các tính chất của màng mỏng. Từ khóa Phún xạ magnetron rf Màng TiZrN Độ cứng Hệ số ma sát Thể tích mài mòn. 1. MỞ ĐẦU Ngày nay các lớp phủ chống mài mòn dựa trên các hợp chất chịu lửa đã được sử dụng rộng rãi để cải thiện hiệu suất và tuổi thọ của các dụng cụ gia công cơ khí làm tăng khả năng làm việc của các bề mặt hoạt động chịu ma sát và mài mòn cao. Hiệu quả của việc sử dụng các lớp phủ được xác định bởi nhiều yếu tố độ cứng khả năng khuếch tán trong vật liệu khả năng bám dính trên vật liệu dụng cụ khả năng duy trì các đặc tính ở nhiệt độ cao . Trong những năm gần đây nhiều tác giả và nhà nghiên cứu đã tập trung vào việc cải thiện khả năng làm việc của .
