Bài viết Cấu trúc và tính chất từ trong các màng đa lớp nano antidots [Co/Pd] với dị hướng từ vuông góc nghiên cứu ảnh hưởng của cấu trúc nano xốp lên tính chất từ (lực kháng từ HC, độ vuông S = MR/MS, ) theo phương vuông góc trong các màng đa lớp nano-antidots [Co/Pd] phún xạ trên đế xốp Al2O3 và TiO2 nhằm hướng đến các ứng dụng ghi từ vuông góc mật độ cao. | Nghiên cứu khoa học công nghệ Cấu trúc và tính chất từ trong các màng đa lớp nano antidots Co Pd với dị hướng từ vuông góc Giáp Văn Cường1 Chử Văn Thành2 3 Đỗ Khánh Tùng2 Nguyễn Thanh Hường2 Đỗ Hùng Mạnh2 Trần Đăng Thành2 Nguyễn Thị Ngọc Anh 2 4 1 Trường Đại học Sư phạm Kỹ thuật Hưng Yên 2 Viện Khoa học vật liệu Viện Hàn lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam 3 Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu Đại học Bách khoa Hà Nội 4 Học viện Khoa học và Công nghệ Viện Hàn lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam. Email Nhận bài 18 6 2022 Hoàn thiện 25 8 2022 Chấp nhận đăng 12 12 2022 Xuất bản 28 12 2022. DOI https TÓM TẮT Các màng đa lớp Co Pd có cấu trúc antidots phún xạ trên các đế xốp nano Al2O3 và TiO2 với kích thước lỗ xốp 30 nm và 50 nm được chế tạo bằng phương pháp phún xạ DC magnetron. Ảnh hưởng của hình thái bề mặt lên đặc trưng cấu trúc và tính chất từ trong các màng đa lớp đã chế tạo được khảo sát một cách kỹ lưỡng. Kết quả nghiên cứu chỉ ra rằng tương tự như trong các màng phẳng Co Pd các màng xốp cũng có dị hướng từ vuông góc lớn ở nhiệt độ phòng. Tuy nhiên lực kháng từ HC trong các màng xốp có sự tăng cường đáng kể so với các màng phẳng HC lớn nhất đạt được là 2220 Oe với mẫu màng xốp TiO2- Co Pd lần lượt cao gấp 1 28 và 3 15 lần so với màng Al2O3- Co Pd và màng phẳng SiO2- Co Pd là do sự hình thành pha từ mềm tại gờ các lỗ xốp. Có thể nói tính chất từ trong các màng xốp hoàn toàn có thể được điều biến thông qua việc điều chỉnh các thông số cấu trúc của đế xốp như kích thước lỗ xốp và độ nhám bề mặt. Từ khoá Trao đổi dịch Màng đa lớp nano antidots Dị hướng từ vuông góc Tương tác trao đổi sắt từ Tương tác trao đổi sắt từ phản sắt từ. 1. MỞ ĐẦU Màng mỏng từ đơn và đa lớp có dị hướng từ vuông góc thu hút được sự quan tâm nghiên cứu bởi khả năng ứng dụng cho ghi từ vuông góc mật độ cao 1 2 . So với quá trình chế tạo các vật liệu có dị hướng từ vuông góc dạng hợp kim như CoPt FePt CoPd quy trình .
