Bài viết Thiết kế và chế tạo cách tử 2D dùng trong hệ thống đo lường đa chiều trình bày quy trình từ nghiên cứu đến thiết kế, chế tạo một loại cách tử 2D có bước 5 μm để sử dụng trong một hệ thống đo lường đa chiều. | Điện tử Vật lý Đo lường Thiết kế và chế tạo cách tử 2D dùng trong hệ thống đo lường đa chiều Lê Vũ Nam Mai Nguyệt Công Viện Vật lý kỹ thuật Viện KH-CN quân sự. Email lvnam185@ Nhận bài 10 8 2022 Hoàn thiện 16 11 2022 Chấp nhận đăng 28 11 2022 Xuất bản 23 12 2022. DOI https TÓM TẮT Cách tử 2D bước dài có rất nhiều ứng dụng quan trọng đặc biệt trong hệ thống đo lường chính xác. Phương pháp vân giao thoa và khắc bằng tia ion truyền thống khi chế tạo loại cách tử này còn gặp vấn đề về hệ thống phơi sáng. Bài báo này trình bày quy trình từ nghiên cứu đến thiết kế chế tạo một loại cách tử 2D có bước 5 μm để sử dụng trong một hệ thống đo lường đa chiều. Trong đó căn cứ yêu cầu sử dụng trình độ gia công và sử dụng phần mềm ETA để thiết kế lựa chọn ra tham số chi tiết cách tử. Lựa chọn một hệ thống phơi sáng mới để giải quyết vấn đề các hệ thống cũ gặp phải khi chế tạo cách tử bước dài. Thông qua phân tích và tính toán để điều chỉnh hệ thống tối ưu quang sai giao thoa để tối ưu sai số đường cách tử. Từ đó chúng tôi đã hoàn thành việc thiết kế và chế tạo ra một cách tử 2D với sai số đường cách tử đạt tới 0 03 λ trong phạm vi 65 mm 65 mm các thông số đều đảm bảo yêu cầu. Từ khoá Cách tử 2D Đo lường chính xác Gia công chính xác. 1. MỞ ĐẦU Cách tử quang học 2D gọi tắt là cách tử 2D hoặc cách tử là một loại linh kiện quang học được sử dụng phổ biến trong cơ khí chính xác cũng như các lĩnh vực kỹ thuật yêu cầu độ chính xác cao. Cách tử thường có dạng tấm mỏng và trên bề mặt có khắc các ma trận chi tiết với chu kỳ từ hàng trăm nm đến hàng chục μm theo hai hướng khác nhau chu kỳ này được gọi là bước của cách tử . Do có đặc điểm cấu tạo này mà cách tử có một đặc tính quan trọng đó là nhiễu xạ ánh sáng có thể tách một tia sáng thành nhiều tia. Nhờ đó nó có thể được ứng dụng trong các hệ thống đo lường chính xác hệ thống phân tích quang phổ hoặc trong hệ thống làm lạnh nguyên tử . 1-8 . Đo lường chính xác là một kỹ thuật được
