Kẽm sunfua (ZnS) là vật liệu bán dẫn đã và đang được nghiên cứu sâu rộng do tiềm năng ứng dụng lớn của nó trong quang điện tử. Bài viết trình bày hình thái, pha và phổ huỳnh quang của các đai micro ZnS chế tạo bằng phương pháp bốc bay nhiệt ở các nhiệt độ đặt đế khác nhau. | Tuyển tập Hội nghị Khoa học thường niên năm 2017. ISBN 978-604-82-2274-1 HÌNH THÁI PHA VÀ PHỔ HUỲNH QUANG CỦA CÁC ĐAI MICRO ZnS CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY NHIỆT Ở CÁC NHIỆT ĐỘ ĐẶT ĐẾ KHÁC NHAU Nguyễn Văn Nghĩa1 Nguyễn Duy Hùng2 1 Trường Đại học Thủy lợi email nghiangvan@ 2 Viện Tiên tiến Khoa học và Công nghệ AIST Trường Đại học Bách khoa Hà Nội 1. GIỚI THIỆU CHUNG Ar đầu còn lại phía các phiến Si ban đầu nối với bơm chân không ống thạch anh để Kẽm sunfua ZnS là vật liệu bán dẫn đã sao cho thuyền đựng bột ZnS ban đầu ở ngay và đang được nghiên cứu sâu rộng do tiềm bên ngoài mép lò. Thoạt tiên khóa van cấp năng ứng dụng lớn của nó trong quang điện khí Ar và hút chân không trong quá trình gia tử 1 . Nhiều nỗ lực đã được thực hiện để chế nhiệt với tốc độ 10 C phút đến 300 C thì tắt tạo các cấu trúc một chiều kích thước nano và bơm chân không và cấp khí Ar với lưu lượng micro có dạng dây đai ống. bằng các 160 ml phút. Nhiệt độ cao nhất được đặt ở phương pháp khác nhau như thủy nhiệt rung 1100 C nhiệt độ bốc bay và thời gian giữ ở nhiệt lắng đọng hơi hóa học bốc bay nhiệt. nhiệt độ này là 45 phút. Khi đến 900 C ống 1 3 . Với phương pháp bốc bay nhiệt có thạch anh được đẩy vào sâu trong lò sao cho nhiều tham số ảnh hưởng đến hình thái và thuyền đựng bột ZnS ở tâm lò. Sau khi bốc các tính chất hóa lý của vật liệu như nhiệt độ bay xong hệ được làm nguội tự nhiên về bốc bay thời gian bốc bay tốc độ khí mang nhiệt độ phòng. loại đế sử dụng hay kim loại xúc tác 4 5 . Tuy nhiên rất ít công bố đề cập đến ảnh 3. KẾT QUẢ NGHIÊN CỨU VÀ hưởng của nhiệt độ đặt đế lên hình thái pha THẢO LUẬN và tính chất huỳnh quang của các cấu trúc ZnS. Vấn đề này sẽ được chúng tôi trình bày Hình thái của các cấu trúc thu được nhờ chi tiết trong bài báo. ảnh chụp từ kính hiển vi điện tử quét SEM và được thể hiện trên hình 1a. Hình 1b mô tả 2. TIẾN TRÌNH THÍ NGHIỆM giản đồ phân bố nhiệt độ trong lò ống nằm ngang theo khoảng cách tính từ tâm lò. Các Tấm Silic được ôxi hóa rồi đem đi .
