Bài viết Ảnh hưởng của hàm lượng Ti đến cấu trúc và tính chất của màng nanocomposite (nc-TiC/a-C) nghiên cứu ảnh hưởng của hàm lượng Ti đến các tính chất của màng nanocomposite nc-TiC/a-C phủ bằng phương pháp magnetron sputtering với hai âm cực là Ti và graphite. Các kỹ thuật chẩn đoán cao cấp như XRD, XPS, TEM, máy đo độ cứng nano, đã được sử dụng để xác định cấu trúc và tính chất của màng. | Ảnh hưởng của hàm lượng Ti đến cấu trúc và tính chất của màng nanocomposite nc-TiC a-C 8 ẢNH HƯỞNG CỦA HÀM LƯỢNG Ti ĐẾN CẤU TRÚC VÀ TÍNH CHẤT CỦA MÀNG NANOCOMPOSITE nc-TiC a-C Lê Văn An Bùi Xuân Lâm ABSTRACT This paper concerns on the influence of Ti contents on the properties of nc-TiC a-C nanocomposite coatings deposited via co-sputtering of Ti and graphite targets. Advanced characterization techniques such as XRD XPS TEM nanoindenter etc. were employed to determine the structures and properties of the coatings. Experimental results indicated that at low Ti compositions of less than 8 at. Ti exists in the coatings as an amorphous phase. From 8 to 45 at. Ti the formations of nanocomposite were confirmed. Higher than that the coatings were almost crystalline TiC. Nanocomposite may have a hardness compara- ble to that of DLC about 33 GPa but the residual stress is much lower. Such new nanocomposite show great potentials for engineering applications. TÓM TẮT Trong bài báo này chúng tôi nghiên cứu ảnh hưởng của hàm lượng Ti đến các tính chất của màng nanocomposite nc-TiC a-C phủ bằng phương pháp magnetron sputtering với hai âm cực là Ti và graphite. Các kỹ thuật chẩn đoán cao cấp như XRD XPS TEM máy đo độ cứng nano đã được sử dụng để xác định cấu trúc và tính chất của màng. Kết quả thí nghiệm chỉ ra rằng khi hàm lượng Ti nhỏ hơn 8 at. thì chưa có sự hình thành nanocomposite và Ti tồn tại trong màng như một pha vô định hình. Với hàm lượng Ti từ 8 đến thì sự hình thành nanocomposite được xác định. Khi hàm lượng Ti lớn hơn 45 at. màng hầu như là TiC đa tinh thể. Nanocomposite có thể đạt được độ cứng tương đương với carbon giống kim cương 33 GPa trong khi ứng suất nội chỉ bằng một nửa. Vật liệu nanocomposite cho thấy tiềm năng ứng dụng kỹ thuật rất lớn. I. GIỚI THIỆU CNx 45-55 GPa 3 . Hiện nay chưa có Cho đến nay có thể phân chia các loại nhiều những công trình nghiên cứu màng màng cứng chống mài mòn có cấu trúc nano nhiều lớp carbide. Thực chất những nano thành .
