Phương pháp Quang-phản xạ (Photoreflectance - PR) là một phương pháp thực nghiệm mạnh trong việc nghiên cứu trạng thái bề mặt cũng như tại các mặt tiếp xúc bán dẫn. Phương pháp này có những đặc tính nổi bật: độ phân giải cao, không tiếp xúc mẫu, chỉ tương tác bức xạ lên mẫu. Dùng phần mềm MATLAB để mô phỏng nhằm kiểm chứng cũng như xây dựng một lý thuyết hoàn thiện hơn phù hợp với thực nghiệm, Từ đó, tính toán và phân tích các kết quả thơ sơ thu được từ thực nghiêm