Mật độ tổ hợp của bóng bán dẫn đã tăng lên nhanh chóng đặc biệt với sự hỗ trợ của của công nghệ chân không, cơ khí chính xác, quang học, ngành công nghệ vi điện tử vẫn là ngành công nghệ làm thay đổi thế giới. | Vật liệu khổiđầu co thể la cát hoặc một khoang chát cua Si. Một lo hồ quang điện nong cháy được dung để tao ra Silic co độ sạch cáp luyện kim metallurgical grade silicon MGS độ sach khoang 98 . Cac hat MGS được đưa vao lo phan ưng long vỢi một khí tai chưa hydrochloric acid để chuyển MGS thanh cac khí chưa Si như silane va chlorosilane. Cac khí được tach va lam sach qua một day cac bộ tach va chưng cát. co hai phượng phap chính để tao ra Si sach cáp độ điện tư electronic grade 33 EGS . Một phương phap bao gồm sự phu Si từ khí chứa Si lên trên một ống Si nong ống Si nong tao ra các vị trí kích cơ nguyên tứ . Ồng Si lơn rát nhanh đên đương kính 20 cm. Nêu dung khí trichlorosilane thì phan ứng xay ra như sau SiHCl3 gas H2 gas Si solid 3HCl gas Phương phap thứ hai co nhiêu ứu điêm hơn sứ dung phan ứng trong bê long. Trong đo khí chứa Si va cac hat mầm Si tinh khiêt đứơc nuối. Si EGS co cầu truc đa tinh thê va chứa tap chầt co nống độ trong khoang ppm nho hơn 20 ppm . Tiêp theo Si EGS se đứơc cho nong chay đê nuối thanh thoi đơn tinh thê . co 3 phứơng phap chính đê nuối thoi đơn tinh thê tứ Si EGS. Phứơng phap đứơc sứ dung rống rai nhầt la ky thuầt Czochralski. Trong phứơng phap nay mốt hat đơn tinh thê mầm nho đứơc nhung trong EGS nong chay va tinh thê mầm se đứơc keo gradual sao cho thoi đơn tinh thê đứơc co đứơng kính 15 cm đứơc hình thanh tứ qua trình lam nguối. Mốt phứơng phap khac la phứơng phap nong chay vung. Trong phứơng phap nay mốt thoi Si đặt theo phứơng thẳng đứng đứơc lam nong chay cuc bố tứ dứơi lên sứ dung lo cuc bố quet tứ dứơi lên chẳng han lo vi song . Vung nong chay đứơc tai tinh thê hoa nhơ cac tinh thê mầm. Phứơng phap thứ ba la phứơng phap Bridgeman đứơc dung chu yêu cho GaAs. Trong đo vầt liêu đa tinh 34 thể được lam nong chảy dọc theo một thuyền hẹp dài nhợ lo quét dọc. Va âược lảm nguội tư một phía co gắn vỢi tinh thể mầm. Quả trình nuội âợn tinh thể co hai muc tiểu. Một lả chuyển cầu trUc đa tinh thể thanh cầu truc âợn tinh thể . Hai la loai .
