Phún xạ (tiếng Anh: Sputtering) hay Phún xạ catốt (Cathode Sputtering) là kỹ thuật chế tạo màng mỏng dựa trên nguyên lý truyền động năng bằng cách dùng các iôn khí hiếm được tăng tốc dưới điện trường bắn phá bề mặt vật liệu từ bia vật liệu, truyền động năng cho các nguyên tử này bay về phía đế và lắng đọng trên đế. | Phún xạ Lê Tuấn Đại học Bách khoa Hà Nội Phún xạ tiếp Sơ đồ hệ thống thiết bị phún xạ Nước làm lạnh IkV Súng ion Bia Nguyên tử phún xạ Nguyên tử Ar nhanh Nguyên tử phún xạ ngược Mâm đỡ bằng Cu Plasma Ar a 2 2 2006 Đại học Bách khoa Hà Nội 2 Phún xạ tiếp Sơ đồ bố trí các bộ phận thiết bị phún xạ Bơm chân không 2 2 2006 Đại học Bách khoa Hà Nội
