Đối với đầu đo bán dẫn, độ pha tạp là yếu tố quyết định đến các đặc tr−ng của chúng. - Điện trở: ảnh hưởng của độ pha tạp: khi tăng độ pha tạp, mật độ hạt dẫn trong vật liệu tăng lênvà điện trở suất của nó giảm xuống. Biểu thức chung của điện trở suất có dạng: ρ= 1 q (à n n + à p p ) | Biến thiên điện trở của đầu đo bán dẫn xác định bởi công thức tương tự đầu đo kim loại AR Al AS Ap R l S p Đối với đầu đo bán dẫn biến thiên điện trở suất do tác dụng của ứng lực có dạng Ap _ _ _ Al - nơ nY p 1 Trong đó n là hệ số áp điện trở ơ là ứng lực tác dụng. Vậy AR 1 2v KY ệ và hệ số đầu đo K 1 2v nY Thông thường K 100 - 200. . Các đặc trưng chủ yếu Đối với đầu đo bán dẫn độ pha tạp là yếu tố quyết định đến các đặc trưng của chúng. - Điện trở Ảnh hưởng của độ pha tạp khi tăng độ pha tạp mật độ hạt dẫn trong vật liệu tăng lênvà điện trở suất của nó giảm xuống. Biểu thức chung của điện trở suất có dạng 1 p A. . . q p nn p pp q - giá trị tuyệt đối của điện tích điện trở hoặc lỗ trống. n p - mật độ điện tử và lỗ trống tự do. pn Pp - độ linh động của điện tử và lỗ trống. Hình Sự phụ thuộc của điện trở suất vào nồng độ pha tạp và nhiệt độ -95- Ảnh hưởng của nhiệt độ khi nhiệt độ nhỏ hơn 120oC hệ số nhiệt điện trở có giá trị dương và giảm dần khi độ pha tạp tăng lên. Ở nhiệt độ cao hệ số nhiệt điện trở có giá trị âm và không phụ thuộc vào độ pha tạp. - Hệ số đầu đo K Ảnh hưởng của độ pha tạp Hệ số đầu đo phụ thuộc vào độ pha tạp khi độ pha tạp tăng lên hệ số đầu đo giảm hình . Hình Sự phụ thuộc của K vào độ pha tạp Ảnh hưởng của độ biến dạng Hệ số đầu đo phụ thuộc vào độ biến dạng quan hệ có dạng K K1 K2 8 K2 8 2 Tuy nhiên với độ biến dạng dưới một giá trị cực đại nào đó có thể coi K không đổi. Ảnh hưởng của nhiệt độ Khi nhiệt độ tăng hệ số đầu đo giảm tuy nhiên khi độ pha tạp lớn cỡ Nd 1020cm-3 hệ số đầu đo ít phụ thuộc nhiệt độ. . Đầu đo trong chế độ động Khi đo biến dạng trong chế độ động đầu đo phải thoả mãn một số yêu cầu nhất định như tần số sử dụng tối đa giới hạn mỏi. . Tần số sử dụng tối đa Tần số của đầu đo không phụ thuộc vào vật liệu chế tạo silic có thể truyền không suy giảm các dao động với tần số lớn hơn 106 Hz. Tuy nhiên tần số làm việc lại phụ thuộc vào phương pháp gắn đầu đo và kích thước của nó. Để cho các biến .
