Những ưu điểm của phương pháp cấy ion Điều khiển chính xác liều lượng và phân bố theo chiều sâu của tạp chất Có một phổ rộng để lựa chọn các vật liệu làm mặt nạ như ô xyt, chất cảm quang, poly-Si, Si3H4, kim loại, Không bị ảnh hưởng nhiều từ các công đoạn làm sạch bề mặt phiến. Có độ đồng đều rất lý tưởng liều chiếu xạ theo chiều ngang – ví dụ, liều chiếu xạ, hay lượng tạp chất, chỉ thay đổi cỡ 1 % trên suốt đường kính của phiến Si 8” (20,32 cm) | Cấy ion Lê Tuấn Đại học Bách khoa Hà Nội Cấy ion - Những ưu điểm của phương pháp cấy ion Điều khiển chính xác liều lượng và phân bố theo chiều sâu của tạp chất Có một phổ rộng để lựa chọn các vật liệu làm mặt nạ như ô xyt chất cảm quang poly-Si Si3H4 kim loại . Không bị ảnh hưởng nhiều từ các công đoạn làm sạch bề mặt phiến Có độ đồng đều rất lý tưởng liều chiếu xạ theo chiều ngang - ví dụ liều chiếu xạ hay lượng tạp chất chỉ thay đổi cỡ 1 trên suốt đường kính của phiến Si 8 20 32 cm . Có thể cấy ion qua lớp oxit hay các mặt nạ mỏng khác. Quá trình cấy ion và ủ mẫu sau đó thực hiện ở nhiệt độ thấp hơn thời gian ngắn hơn so với công đoạn khuếch tán. Do đó cấy ion ít làm sai lệch phân bố tạp chất trong phiến bán dẫn được tạo ra trong các công đoạn trước đó nếu so sánh với công đoạn khuếch tán. Để tranh khuếch tán có thể ủ nhanh bằng tia laser hay bức xạ hồng ngoại. Nhược điểm Gây sai hỏng lớn tại bề mặt mẫu do sự bắn phá của chùm ion. Thiết bị đắt tiền cồng kềnh đòi hỏi các phục vụ phụ trợ phức tạp. 1 15 2006 Đại học Bách khoa Hà Nội 2 Cấy ion tiếp - Thiết bị cấy ion Phân tách các ion và hướng ion tạp cần thiết tới đích bằng từ trường và khối lượng ion. Một số thông số đặc trưng Giá thành 3 - 4 triệu USD Điện thế tăng tốc 0 - 200 kV Công suất khoảng 60 phiến giờ Liều lượng 1011 - 1016 cm-2 Độ chính xác điều chỉnh liều lượng 0 5 Độ đồng đều 1 trên phiến 8 20 32 cm Kích thước phiến lớn nhất hiện nay 300 mm 1 15 2006 Đại học Bách khoa Hà Nội
