Màng TiO2 được các nhà khoa học quan tâm do khả năng ứng dụng của nó rất to lớn trong cuộc sống. Trong những năm vừa qua, có khá nhiều các công trình khoa học nghiên cứu chế tạo màng bằng các phương pháp khác nhau. Phòng thí nghiệm Kỹ Thuật Cao thuộc trường ĐH KHTN – ĐHQG , lần đầu tiên nghiên cứu chế tạo màng TiO2 bằng phương pháp phún xạ magnetron rf. Tính chất quang của màng được xác định bằng phép đo UV-VIS. Cấu trúc màng và bề mặt màng được xác định bằng phép đo. | TẠP CHÍ PHÁT TRIỂN KH CN TẬP 9 SÓ 6-2006 NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG TiO2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF Lê Vũ Tuấn Hùng Nguyễn Văn Đen Huỳnh Thành Đạt Trường Đại Học Khoa Học Tự Nhiên - ĐHQG- HCM Bài nhận ngày 11 tháng 11 năm 2005 TÓM TĂT Màng TiO2 được các nhà khoa học quan tâm do khả năng ứng dụng của nó rất to lớn trong cuộc sống. Trong những năm vừa qua có khá nhiều các công trình khoa học nghiên cứu chế tạo màng bằng các phương pháp khác nhau. Phòng thí nghiệm Kỹ Thuật Cao thuộc trường ĐH KHTN - ĐHQG lần đầu tiên nghiên cứu chế tạo màng TiO2 bằng phương pháp phún xạ magnetron rf. Tính chất quang của màng được xác định bằng phép đo UV-VIS. Cấu trúc màng và bề mặt màng được xác định bằng phép đo nhiễu xạ tia X và phép đo AFM. Các kết quả này cũng được so sánh với các kết quả tương ứng khi tạo màng bằng phương pháp magnetron dc. Đồng thời cấu trúc màng thay đổi khi màng được ủ ở nhiệt độ cao cũng được ghi nhận qua phổ nhiễu xạ tia X và AFM. 1. GIỚI THIỆU Màng TÍƠ2 được sự quan tâm rất lớn bởi các nhà khoa học trên thế giới do khả năng ứng dụng của nó rất phong phú trong khoa học cũng như trong đời sống. Màng TiO2 có độ rộng vùng cấm lớn chiết suất cao chúng thường được dùng để chế tạo các thiết bị quang điện photovoltaic thiết bị quang xúc tác photocatalysts hoặc chất điện môi trong màng tụ điện 1 . Ngoài ra màng TiO2 trong suốt trong vùng khả kiến và hồng ngoại hấp thụ trong vùng khả kiến nên chúng còn được sử dụng cho các ứng dụng quang học như dẫn sóng waveguides kính lọc filter hay màng chống phản xạ. Có nhiều phương pháp khác nhau để chế tạo màng TiO2 như phương pháp sol-gel các phương pháp hóa học phuơng pháp lắng đọng xung laser PLD. Trong những năm qua phòng thí nghiệm chuyên đề quang và chân không thuộc Khoa Vật Lý trường ĐH KHTN đã chế tạo thành công màng TiO2 từ phương pháp phún xạ magnetron phản ứng DC. Trong báo cáo này chúng tôi nghiên cứu màng TiO2 được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron rf. Sau đó so sánh
