Al2O3 được ứng dụng rộng rãi làm chất gây xúc tác dưới dạng gốm xốp hoặc dạng màng mỏng. Nó có thể được tạo ra bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng từ bia kim loại hoặc trực tiếp từ bia oxide. Mục tiêu của bài viết này là mô phỏng để xác định các điều kiện thích hợp nhằm phún xạ màng Al2O3 từ vật liệu Al kim loại bằng hệ phún xạ mangetron RF và DC. | Science Technology Development Vol 10 - 2007 MÔ HÌNH HÓA VÀ MÔ PHỎNG QUÁ TRÌNH TẠO MÀNG AI2O3 BẰNG PHÚN XẠ MAGNETRON Giang Văn Phúc 1 Lê Vũ Tuấn Hùng 2 Huỳnh Thành Đạt 3 I Nguyễn Văn Bến 2 I 1 Trường Đại học An Giang 2 Trường Đại học Khoa học Tự nhiên ĐHQG-HCM 3 ĐHQG-HCM Bài nhận ngày 16 tháng 09 năm 2006 hoàn chỉnh sửa chữa ngày 22 tháng 01 năm 2007 TÓM TẢT Al2O3 được ứng dụng rộng rãi làm chất gây xúc tác dưới dạng gốm xốp hoặc dạng màng mỏng. Nó có thể được tạo ra bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng từ bia kim loại hoặc trực tiếp từ bia oxide. Mục tiêu của bài viết này là mô phỏng để xác định các điều kiện thích hợp nhằm phún xạ màng Al2O3 từ vật liệu Al kim loại bằng hệ phún xạ mangetron RF và DC. Việc mô phỏng được dựa trên phương pháp Monte Carlo và các tham số ban đầu kể cả các tham số hình học của hệ. Công việc tính toán thực hiện bằng ngôn ngữ lập trình Matlab với chế độ dòng lệnh để khảo sát và chế độ đồ họa để minh họa. Các kết quả bao gồm a các phân bố góc và năng lượng phún xạ ban đầu b quá trình chuyển dời các hạt phún xạ c phân bố không gian năng lượng và góc của hạt phún xạ ở bề mặt đế d sự lắng đọng của màng có tính đến sự khuếch tán. Các kết quả được so sánh với các kết quả tương tự của các tác giả khác và với kết quả thực nghiệm để hòan thiện mô hình. THIỆU Kỹ thuật phún xạ được áp dụng rộng rãi nhờ vào khả năng tạo được rất nhiều loại màng. Đặc biệt là việc tạo màng rắn chống ăn mòn trong công nghiệp 4 mà Al và Al2O3 là tiêu biểu. Mặc dù hiện tượng và các hiệu ứng của phún xạ đã được nghiên cứu nhiều nhưng mô tả lý thuyết của nó thì chưa hoàn thiện. Cho đến nay việc phủ màng và tối ưu hóa các tham số phún xạ chủ yếu là nhờ quá trình thực nghiệm. Hơn nữa trong trường hợp oxyt nhôm và hệ phún xạ mangetron RF và DC thì việc mô phỏng là hết sức cần thiết. Bài viết này trình bày mô hình Monte-Carlo thực hiện đối với quá trình phún xạ Magnetron Sputter. Phương pháp này cho phép khảo sát mô hình dựa trên các định luật vật lý nhằm .
