Màng CrN được dùng làm lớp phủ bảo vệ bề mặt vật liệu do có những tính chất đặc biệt như: độ cứng cao, nhiệt độ làm việc lớn, độ chống mài mòn và tính trơ hoá học cao. Màng CrN được tổng hợp trên đế inox bằng phương pháp phún xạ mạ ion với áp suất khoảng . Màng thu được có cấu trúc tinh thể tốt với định hướng chủ yếu theo mặt (111) song song với bề mặt mẫu. | TẠP CHÍ PHÁT TRIỂN KH CN TẬP 10 SÓ 05 - 2007 TỔNG HỢP MÀNG CỨNG CrN BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MẠ ION SIP Đinh Thị Mộng Cầm Nguyễn Hữu Chí Lê Khắc Bình Trần Tuấn Nguyễn Thị Hải Yến Trần Quang Trung Trường Đại học Khoa học Tự nhiên ĐHQG - HCM Bài nhận ngày 09 tháng 11 năm 2006 hoàn chỉnh sửa chữa ngày 26 tháng 05 năm 2007 TÓM TẢT Màng CrN được dùng làm lớp phủ bảo vệ bề mặt vật liệu do có những tính chất đặc biệt như độ cứng cao nhiệt độ làm việc lớn độ chống mài mòn và tính trơ hoá học cao. Màng CrN được tổng hợp trên đế inox bằng phương pháp phún xạ mạ ion với áp suất khoảng 3torr. Màng thu được có cấu trúc tinh thể tốt với định hướng chủ yếu theo mặt 111 song song với bề mặt mẫu. Cấu trúc tinh thể và độ bám dính của màng phụ thuộc vào nồng độ khí N2 và thế hiệu dịch trên đế. Màng có độ chống ăn mòn cao khi ngâm trong hai môi trường giả môi trường acetat và môi trường mồ hôi . 1. GIỚI THIỆU Ngày nay màng cứng đang được các phòng thí nghiệm trên thế giới quan tâm nghiên cứu bởi một số tính chất đặc biệt như độ cứng cao nhiệt độ làm việc lớn chống mài mòn và tính trơ hoá học cao 1-12 . Trong các loại màng cứng thường gặp như CrN TiN TiCN màng CrN ngày càng phổ biến và trở thành vật liệu công nghệ quan trọng do có độ cứng khá cao độ cứng Vickers có thể lên đến 2000 HV chịu được sự gia công nhiệt trên 700 oC 13-15 chống mài mòn ăn mòn cao đặc biệt đối với Cl F và có độ bám dính tốt trên đế inox 16 17 đồng thời màng CrN ít giòn hơn các loại màng cứng khác nên nó phù hợp hơn trong việc bảo vệ bề mặt các vật liệu mềm hợp kim Al inox 1 17 18 . Với những đặc tính nổi bật đó màng CrN được ứng dụng dùng làm lớp phủ bảo vệ bề mặt dụng cụ cắt gọt mũi khoan các bộ phận máy móc ổ trục khuôn kéo sợi khuôn đúc. 1 14 19 . Tính chất của màng phụ thuộc rất lớn vào các phương pháp tạo màng do đó trong những năm gần đây có nhiều công trình nghiên cứu tính chất của màng CrN được tổng hợp bằng các phương pháp khác nhau. Trong đó phương pháp phún xạ mạ ion SIP được xem là phương pháp .
