Những kết quả nghiên cứu về màng TiO2-xNx được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC không cân bằng cho thấy có khả năng quang xúc tác dưới ánh sáng khả kiến. Đặc trưng của màng được cho bởi phổ X-ray, phổ UV-vis. Nồng độ nitơ trong màng được xác định bằng phương pháp EDX. | TẠP CHÍ PHÁT TRIỂN KH CN TẬP 11 SÓ 06 - 2008 CƠ CHẾ PHA TẠP NITƠ VÀO TINH THỂ TIƠ2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ PHẢN ỨNG MAGNETRON DC Vũ Thị Hạnh Thu 1 Đinh Công Trường 1 Nguyễn Hữu Chí 1 Lê Văn Hiếu 1 Huỳnh Thành Đạt 2 Phạm Kim Ngọc 1 Lê Đình Minh Trí 1 1 Trường Đại học Khoa học Tự nhiên ĐHQG-HCM 2 ĐHQG-HCM Bài nhận ngày 30 tháng 11 năm 2007 hoàn chỉnh sửa chữa ngày 26 tháng 02 năm 2008 TOM TẮT Những kết quả nghiên cứu về màng TiO2-xNx được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC không cân bằng cho thấy có khả năng quang xúc tác dưới ánh sáng khả kiến. Đặc trưng của màng được cho bởi phổ X-ray phổ UV-vis. Nồng độ nitơ trong màng được xác định bằng phương pháp EDX. Tính quang xúc tác của màng được đo bằng khả năng phân hủy Methylene Blue hay MB 373 5 . Kết quả cho thấy giảm độ rộng vùng cấm khi tăng nồng độ pha tạp nitơ do sự liên kết với obital N 2p trong màng TiO2-xNx. Công trình đồng thời đưa ra một cơ chế mới về sự pha tạp nitơ trong màng tinh thể anatase TiO2 để thành lập màng TiO2-xNx điều này khác biệt với các cơ chế pha tạp trước đây 1 8 . Ngòai ra màng thu được tối ưu ở điều kiện chế tạo áp suất 13mtorr công suất 240W độ dày màng từ 600nm đến 700nm và tỷ lệ khí N2 O2 4 -5 5. THIỆU Như đã biết bột và màng TiO2 đã được nghiên cứu rộng rãi để làm vật liệu quang xúc tác. Nó có khả năng quang xúc tác lớn độ bền hoá học cao không độc hại và giá thành rẻ. Vì vậy người ta đã tập trung nghiên cứu nó vào mục đích ứng dụng như làm mất mùi tự làm sạch không khí và nước và chống khuẩn 1 . Tuy nhiên tinh thể TiO2 có độ rộng vùng cấm lớn 3 2 - 3 8 eV nên độ nhạy quang xúc tác chỉ nằm trong vùng ánh sáng tử ngoại với À 380nm tức chỉ 5 năng lượng mặt trời trong vùng tử ngoại có khả năng kích hoạt phản ứng quang xúc tác. Để chuyển phản ứng quang xúc tác vào vùng ánh sáng khả kiến ở đó nó chiếm 45 năng lượng mặt trời người ta đã dùng các phương pháp như a pha tạp TiO2 với kim loại chuyển tiếp để tạo những trạng thái trung gian trong vùng .
