Màng có cấu trúc nghiêng (GLAD) đang được các nhà khoa học rất quan tâm trong những năm gần đây. Đặc biệt các màng GLAD có cấu trúc zigzac có tính chất quang học gần giống như màng đa lớp, hơn nữa với phương pháp chế tạo màng GLAD cũng khá đơn giản nên chúng đang được nghiên cứu để thay thế màng đa lớp cho các ứng dụng như các màng AR hay kính lọc | Science Technology Development Vol 11 - 2008 MÔ PHỎNG MÀNG CHỐNG PHẢN XẠ AR CÓ CẤU TRÚC NGHIÊNG BẰNG THUẬT TOÁN GENETIC Lê Vũ Tuấn Hùng 1 Hồ Văn Bình 1 Giang Văn Phúc 1 Dương Ai Phương Lê Sơn Hải 2 Huỳnh Thành Đạt 3 1 Trường Đại học Khoa học Tự nhiên ĐHQG-HCM 2 Trường Đại học Sư phạm Kỹ thuật 3 đhQg-hcM Bài nhận ngày 13 tháng 08 năm 2007 hòan chỉnh sửa chữa ngày 05 tháng 06 năm 2008 TÓM TẢT Màng có cấu trúc nghiêng GLAD đang được các nhà khoa học rất quan tâm trong những năm gần đây. Đặc biệt các màng GLAD có cấu trúc zigzac có tính chất quang học gần giống như màng đa lớp hơn nữa với phương pháp chế tạo màng GLAD cũng khá đơn giản nên chúng đang được nghiên cứu để thay thế màng đa lớp cho các ứng dụng như các màng AR hay kính lọc. rong báo cáo này chúng tôi đã sử dụng thuật toán di truyền Genetic để mô phỏng và tính toán các thông số tối ưu cho màng GLAD ứng dụng để tạo màng AR trong vùng khả kiến. Việc viết chương trình mô phỏng là công việc thiết yếu không thể thiếu và nó sẽ hỗ trợ rất nhiều cho công việc chế tạo màng sau này. Key words cấu trúc nghiêng GLAD thuật toán Genetic Genetic algorithm màng chống phản xạ AR lai tạo đột biến. I. GIỚI THIỆU Trong những năm gần đây kỹ thuật chế tạo màng mỏng đã đạt được rất nhiều tiến bộ. Nhiều loại màng mỏng với các phương pháp chế tạo vật lý cũng như hóa học khác nhau đã được nghiên cứu nhằm đáp ứng cho các ứng dụng khác nhau trong khoa học kỹ thuật cũng như trong đời sống. Tuy nhiên hầu hết các phương pháp đều tạo ra các loại màng có cấu trúc bình thường cấu trúc thẳng . Cùng với sự phát triển ngày càng cao của khoa học kỹ thuật hiện nay một kỹ thuật tạo màng mới vừa ra đời và được sự quan tâm rất nhiều của các nhà khoa học đó là kỹ thuật tạo màng có cấu trúc nghiêng GLAD . Kỹ thuật này có thể chủ động điều khiển thay đổi cấu trúc của màng và tạo các màng có độ xốp vừa phải semi-porous . Màng được tạo khi góc tới của chùm vật liệu lắng đọng từ bia target tới đế có một góc nghiêng nhất định như trong hình 1.
