Màng quang xúc tác TiO2 được nghiên cứu và chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC không cân bằng trên đế kính ảnh có cấu trúc tinh thể anatase sớm ở 1850C. Những đặc trưng về cấu trúc, hình thái bề mặt, tính chất quang của màng được khảo sát qua phổ XRD, kết quả AFM và phổ UV –VIS. | TẠP CHÍ PHÁT TRIỂN KH CN TẬP 11 SÓ 10 - 2008 SỰ ẢNH HƯỞNG DÒNG PHÚN XẠ VÀ Sự Ủ NHIỆT LÊN TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC MÀNG TiO2 CHẾ TẠO BANG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC KHÔNG CÂN BẰNG Vũ Thị Hạnh Thu 1 Nguyễn Hữu Chí 1 Lê Văn Hiếu 1 Huỳnh Thành Đạt 2 Nguyễn Quỳnh Giao 1 Phạm Kim Ngọc 1 1 Trường Đại học Khoa học Tự nhiên ĐHQG-HCM 2 ĐHQG-HCM Bài nhận ngày 04 tháng 12 năm 2007 hòan chỉnh sửa chữa ngày 25 tháng 02 năm 2008 TÓM TĂT Màng quang xúc tác TiO2 được nghiên cứu và chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC không cân bằng trên đế kính ảnh có cấu trúc tinh thể anatase sớm ở 1850C. Những đặc trưng về cấu trúc hình thái bề mặt tính chất quang của màng được khảo sát qua phổ XRD kết quả AFM và phổ UV-VIS. Tính năng quang xúc tác của màng được xác định qua khả năng tẩy Methylene Blue MB dưới ánh sáng đen UVA . Kết quả cho những màng TiO2 có bậc tinh thể cao và diện tích hiệu dụng bề mặt lớn tính năng quang xúc tác của các mẫu mạnh hơn khi tăng dòng phún xạ hay ủ nhiệt. Thực nghiệm cho thấy giải pháp tăng dòng phún xạ hiệu quả hơn và có ý nghĩa hơn về mặt công nghệ so với giải pháp ủ nhiệt sau chế tạo. Từ khóa phổ truyền qua dòng phún xạ độ gồ ghề RMS. 1. GIỚI THIỆU TiO2 dưới tác dụng của ánh sáng tử ngoại sẽ xuất hiện các cặp điện tử - lỗ trống . Khi các cặp điện tử - lỗ trống này chưa bị tái hợp chúng di chuyển ra bề mặt và tham gia vào một số các phản ứng hóa học. Hai phản ứng đặc trưng trong số đó là Phản ứng phân hủy hợp chất hữu cơ Gốc hydroxyl và anion superoxyde tạo thành tại bề mặt có khả năng phân hủy cực mạnh hợp chất hữu cơ tạo thành CO2 và H2O. Ứng dụng tiệt trùng diệt khuẩn khử mùi làm sạch không khí . Phản ứng quang siêu thấm Tính siêu thấm do trên bề mặt TiO2 xuất hiện các chỗ trống thiếu nguyên tử O khi bị chiếu UV gây hiệu ứng hấp phụ mạnh các nhóm OH. Ứng dụng tự làm sạch chống sương bám . Hình 1. Sơ đồ phản ứng phân hủy hợp chất hữu cơ Bản quyền thuộc ĐHQG-HCM Trang 43 Science Technology Development Vol 11 - 2008 Hình 2. Màng tế .
