Tóm tắt: Trong bài báo này, chúng tôi đưa ra một phương pháp mới thiết kế thiết bị quang đa chức năng sử dụng bộ ghép giao thoa đa mode 3x3 MMI (multimode interference). Các bộ chia-ghép tín hiệu quang, các cổng OR, NOT, Ex-OR và NAND quang được thiết kế trên công nghệ Silicon. | THIẾT KẾ THIẾT BỊ ĐA CHỨC NĂNG QUANG DỰA TRÊN BỘ GHÉP GIAO THOA ĐA MODE SỬ DỤNG CÔNG NGHỆ SILICON LÊ TRUNG THÀNH Bộ môn Kỹ thuật Viễn thông Khoa Điện - Điện tử Trường Đại học Giao thông Vận tải Tóm tắt Trong bài báo này chúng tôi đưa ra một phương pháp mới thiết kế thiết bị quang đa chức năng sử dụng bộ ghép giao thoa đa mode 3x3 MMI multimode interference . Các bộ chia-ghép tín hiệu quang các cổng OR NOT Ex-OR và NAND quang được thiết kế trên công nghệ Silicon. Summary Design of a multifunctional device based on a 3x3 multimode interference coupler is proposed in this paper. The device can perform a variety of functions such as optical splitters optical combiner optical OR NOT Ex-OR and NAND gates. By using the transfer matrix method along with the help of beam propagation method BPM the design and analysis of the device are given in detail. Such a device can be a promising building block for photonic signal processing applications. ĐT I. ĐẶT VẤN ĐỀ Xử lý tín hiệu quang trong các hệ thống thông tin quang tốc độ cao là một yêu cầu rất bức thiết. Hầu hết các thiết bị xử lý tín hiệu toàn quang được thiết kế cho đến nay sử dụng hiệu ứng phi tuyến sợi quang. Nhược điểm của phương pháp này là kích thước thiết bị lớn và yêu cầu công suất cao nên không phù hợp cho mạch tích hợp quang 1 . Gần đây các thiết bị quang tích hợp đã được chế tạo trên công nghệ silicon 2 . Ưu điểm của silicon quang là cho phép sử dụng công nghệ chế tạo mạch vi điện tử đã phát triển từ lâu nên giảm giá thành và có khả năng cho tích hợp trong chế tạo thiết bị. Hơn nữa với các ưu điểm như kích thước nhỏ sai số chế tạo cao dễ dàng trong việc tích hợp để xây dựng thành mạch quang tích hợp phưc tạp các thiết bị quang sử dụng bộ ghép giao thoa đa mode MMI đang được nghiên cứu và ứng dụng rất rộng rãi. Một số thiết bị quang như bộ ghép kênh quang bộ ghép quang bộ điều chế quang . đã được chế tạo sử dụng thiết bị mMi 3 . Trong bài báo này lần đầu tiên chúng tôi đưa ra phương pháp thiết kế các cổng .
