Mục 6,6: Phân tích mẫu gương Micro (hàng loạt hoặc Phương pháp lệnh)Hình 6,14 Biên độ phương thức Chế độ 1 so với điện áp phân cực caoĐiện dung tính toán được hiển thị trong các con số sau đây | Chapter 6 Reduced Order Modeling Figure Modal Amplitude of Mode 1 vs. High Polarization Voltage 6-34 ANSYS Coupled-Field Analysis Guide. ANSYS Release . IP Inc. Section Sample Micro Mirror Analysis Batch or Command Method Figure Modal Amplitude of Mode 3 vs. High Polarization Voltage P0ST26 -1. 5 4Ị -1S5 . . 1 đ ri u- --J L I TH U C l 1 . TH J 1 vH 1 o 1 1 1 r pou j r j- -125 -100 - 5 -25 -50 Volt AN . I- 25 0 tage 5 50 100 125 Calculated capacitances are shown in the following figures. ANSYS Coupled-Field Analysis Guide. ANSYS Release . IP Inc. 6 35 Chapter 6 Reduced Order Modeling Figure Capacitances CAP12 and CAP13 vs. High Polarization Voltage 6-36 ANSYS Coupled-Field Analysis Guide. ANSYS Release . IP .
