Thuật ngữ cơ điện tử được hình thành vào năm 1969 do ông Tesuro Mori người Nhật Bản, Tổng giám đốc của Công ty Seibu Electric and Machinery nêu ra, khi ông đề xuất một công nghệ mới sản xuất các máy công cụ tiên tiến với sự kết hợp chặt chẽ giữa cơ khí và điện tử.