Tham khảo tài liệu 'an introduction to mems engineering - nadim maluf and kirt williams part 1', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Vi E M s MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS SERIES An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering SECOND EDITION NADIM MALUF KIRT WILLIAMS An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering Second Edition For a listing of recent titles in the Artech House Microelectromechanical Systems MEMS Series turn to the back of this .