Bài báo trình bày thiết kế và mô phỏng một mẫu vi mô tơ quay sử dụng bộ kích hoạt nhiệt điện dạng chữ V. Vi mô tơ có kích thước ngoài 2,4mm, hoạt động với điện áp dẫn tối thiểu Umin=19V trong dải tần số hàng trăm Hz. Ưu điểm nổi bật của loại vi mô tơ này là tiêu thụ năng lượng ít (điện áp dẫn động thấp), hệ thống điều khiển đơn giản, có thể chế tạo hàng loạt dễ dàng dựa trên công nghệ vi cơ khối (Bulk - micromachining). | Trần Văn Quân và Đtg Tạp chí KHOA HỌC & CÔNG NGHỆ 120(06): 141 – 146 VI MÔ TƠ NHIỆT - ĐIỆN SIÊU NHỎ CHẾ TẠO BẰNG CÔNG NGHỆ MEMS Trần Văn Quân1, Bùi Hữu Nam2*, Nguyễn Tiến Dũng2 1 Viện Cơ khí, trường ĐH Bách khoa Hà Nội Trường Đại học Kỹ thuật Công nghiệp – ĐH Thái Nguyên 2 TÓM TẮT Ngày nay, cùng với sự phát triển mạnh mẽ của công nghệ MEMS, các vi mô tơ đang đƣợc nghiên cứu, chế tạo và ứng dụng ngày càng phổ biến. Bài báo trình bày thiết kế và mô phỏng một mẫu vi mô tơ quay sử dụng bộ kích hoạt nhiệt điện dạng chữ V. Vi mô tơ có kích thƣớc ngoài 2,4mm, hoạt động với điện áp dẫn tối thiểu U min=19V trong dải tần số hàng trăm Hz. Ƣu điểm nổi bật của loại vi mô tơ này là tiêu thụ năng lƣợng ít (điện áp dẫn động thấp), hệ thống điều khiển đơn giản, có thể chế tạo hàng loạt dễ dàng dựa trên công nghệ vi cơ khối (Bulk - micromachining). Từ khóa: Vi mô tơ quay; Bộ kích hoạt nhiệt điện; Công nghệ vi cơ khối các vi mô tơ này có cấu trúc và công nghệ chế tạo tƣơng đối phức tạp. Trong bài báo này, nhóm tác giả đề xuất một mẫu vi mô tơ quay một chiều ứng dụng hiệu ứng giãn nở nhiệt có thể chế tạo bằng công nghệ vi cơ khối chỉ sử dụng một mặt nạ giúp giảm giá thành khi gia công hàng loạt và tăng độ chính xác. Bốn bộ kích hoạt hệ dầm chữ V kết hợp với hệ thống thanh răng có để dẫn động vành răng bên ngoài, cùng với đó là bốn cơ cấu chống đảo giữ vành răng trong quá trình hồi vị. Mẫu vi mô tơ này có kết cấu đơn giản, tỷ trọng công suất lớn, điện áp dẫn tƣơng đối nhỏ. GIỚI THIỆU Cùng với sự phát triển của nhiều công nghệ sản suất mới lan rộng trong MEMS (Micro Electro Mechanical System), các bộ vi kích hoạt, vi mô tơ đã đƣợc nghiên cứu, khai thác và ứng dụng rất rộng rãi [1,2]. Hiệu ứng vật lý ứng dụng trong MEMS cũng rất đa dạng, mà điển hình là hiệu ứng giãn nở nhiệt. Khác với các hiệu ứng khác, hiệu ứng giãn nở nhiệt có thể cho chuyển vị và lực lớn ở điện áp nhỏ. Một vài loại vi mô tơ tuyến tính sử dụng các bộ kích hoạt nhiệt điện nhƣ bộ kích hoạt hình chữ V [3-9], .
