Bài viết đưa ra các quy trình công nghệ chế tạo cảm biến trên đế Si/SiO2 được chúng tôi tập trung nghiên cứu nhằm chế tạo được cảm biến có độ đáp ứng cao, thời gian đáp ứng nhanh để phục vụ cho việc quan trắc ô nhiễm môi trường không khí. | TNU Journal of Science and Technology 225 14 33 - 39 NGHIÊN CỨU BIẾN TÍNH DÂY NANO SnO2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP NHỎ PHỦ VỚI DUNG DỊCH Cu NO3 2 ĐỂ CẢI THIỆN TÍNH CHẤT NHẠY KHÍ H2S Phùng Thị Hồng Vân1 Nguyễn Văn Toán2 Vũ Ngọc Phan3 1Trường Đại học Tài nguyên và Môi Trường Hà Nội 2Trường Đại học Bách khoa Hà Nội 3Trường Đại học Phenikaa TÓM TẮT Dây nano SnO2 được biến tính với các hạt nano CuO bằng cách nhỏ phủ dung dịch đồng nitrat lên điện cực Si SiO2 đã có dây nano SnO2. Dây nano SnO2 đã biến tính có độ đáp ứng khí H2S vượt trội so với cảm biến dây nano SnO2 chưa biến tính. Ở cùng nhiệt độ 250 C và với cùng nồng độ từ 0 25 đến 2 5 ppm H2S độ đáp ứng khí Ra Rg của cảm biến dây nano SnO2 chưa biến tính đạt từ 1 6 đến 2 36 lần khi biến tính với CuO thì độ đáp ứng của cảm biến này tăng lên và đạt giá trị từ 1 7 đến 531. Ngoài ra khi cảm biến SnO2-CuO làm việc ở nhiệt độ 150 C thì độ đáp ứng khí H2S tăng lên rất mạnh từ 66 đến 2023 lần tùy thuộc vào nồng độ khí đo 0 25 - 2 5 ppm . Các kết quả nghiên cứu này của chúng tôi đã chỉ ra rằng việc biến tính dây nano SnO2 với CuO không những làm tăng độ đáp ứng với khí H2S mà còn làm giảm nhiệt độ làm việc của cảm biến dây nano SnO 2. Từ khóa vật liệu bán dẫn cảm biến khí biến tính CuO khí H2S dây nano Ngày nhận bài 20 10 2020 Ngày hoàn thiện 14 11 2020 Ngày đăng 27 11 2020 MODIFICATION OF SnO2 NANOWIRES BY Cu NO3 2 SOLUTION DROPPING FOR ENHANCING H2S SENSING CHARACTERISTICS Phung Thi Hong Van1 Nguyen Van Toan2 Vu Ngoc Phan3 1Hanoi University of Natural Resources amp Environment 2Hanoi University of Science amp Technology HUST 3 Phenikaa University ABSTRACT CuO nanoparticles modified SnO2 nanowires were fabricated by dropping copper nitrate aqueous solution onto SnO2 nanowires as-prepared on Si SiO2 electrodes. The CuO-modified SnO2 nanowires had a superior H 2S response in comparison with raw SnO2 nanowire sensors. At 250 C the Ra Rg values of the raw SnO 2 nanowires to from to ppm H 2S were from to respectively .
