Impact of geometry dimension on quality factor and masssensitivity of PZT thin film-based microcantilevers

The cantilever quality factor has values in the range of 190 to 505, depending on the length and resonant mode. The mass-sensitivity increases when the cantilever length decreases and reaches the highest value of Hz/pg for the 100-µm-long cantilever. Highmode vibration was successfully exhibited for the higher mass-detection sensitivity. |

Không thể tạo bản xem trước, hãy bấm tải xuống
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.