Design and simulation of an out-of-plane electrothermal microactuator

This paper presents a novel design of the microactuator with a double stepped beam structure for large out-of-plane deflection output applied to microvalves. The design and analysis of the out-of-plane microactuator are implemented by the finite element method. Silicon is selected as the material of the actuator and the beam motion is generated by the Joule heating effect. |

Bấm vào đây để xem trước nội dung
Tải xuống
TÀI LIỆU LIÊN QUAN

Experimental investigation of double slope stepped solar still
6    71    0

Design and simulation of an out-of-plane electrothermal microactuator
4    46    1
TÀI LIỆU XEM NHIỀU

Thiết kế kế hoạch bài học môn Toán theo định hướng phát triển năng lực học sinh
13    40978    2412

Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3    25012    248

31 Câu hỏi ôn tập môn Chủ nghĩa xã hội khoa học
25    24587    4282

Tiểu luận: Vai trò của Nguyễn Ái Quốc đối với việc thành lập Đảng Cộng sản Việt Nam
16    20126    2847

Tiểu luận Tình huống xử lý sai phạm trong thanh toán công tác phí lưu động
20    19561    1549

100 câu hỏi trắc nghiệm Triết học Mác-Lênin kèm đáp án
14    19393    2968

Bảng biến đổi Laplace và biến đổi Z
1    19371    618

Ebook Ôn luyện tiếng Anh 9 có đáp án: Phần 2 - Mai Lan Hương, Hà Thanh Uyên
37    16246    2958

Đề thi và Đáp án môn Tiếng Việt thực hành - ĐH SPKT TP.HCM
3    16094    330

Sự so sánh văn bản văn học và tác phẩm văn học
1    14698    133
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG

Luận văn Thạc sĩ Quản trị kinh doanh: Nghiên cứu các yếu tố ảnh hưởng đến lòng trung thành của khách hàng sử dụng dịch vụ di động của mạng Vinaphone tại Viễn thông Bình Dương - Thành phố Thủ Dầu Một
126    75    1    09-06-2024

Tóm tắt luận văn Thạc sĩ Quản trị kinh doanh: Quản lý nhà nước về hoạt động giải quyết việc làm cho lao động nông thôn trên địa bàn huyện Tiên Phước, tỉnh Quảng Nam
26    71    1    09-06-2024

Đánh giá khả năng lan truyền đặc tính kháng kháng sinh của các chủng vi khuẩn Vibrio spp. phân lập từ tôm thẻ chân trắng (Litopenaeus vannamei) thương mại
10    407    2    09-06-2024

Ảnh hưởng đa dạng loài cây gỗ đến sinh khối trong rừng trồng hỗn giao tại huyện Thạch Thất, Hà Nội
6    112    5    09-06-2024

Software Quality Assurance: Lecture 5 - Dr. Ghulam Ahmad Farrukh
25    95    1    09-06-2024

Bài giảng Kinh tế vĩ mô 2 - Chương 4: Nền kinh tế trong dài hạn – tiết kiệm, đầu tư và cân bằng của thị trường tài chính
7    288    1    09-06-2024

Liên quan nồng độ thiamin huyết tương với một số thông số ở bệnh nhân đái tháo đường típ 2
4    79    1    09-06-2024

Luận văn Thạc sĩ Quản trị kinh doanh: Quản trị quan hệ khách hàng tại Ngân hàng TMCP Công thương Việt Nam - chi nhánh Đăk Lăk
143    72    2    09-06-2024

Giáo trình Kỹ thuật điện tử cơ bản (Nghề Vận hành máy thi công mặt đường - Trình độ Cao đẳng) - CĐ GTVT Trung ương I
97    90    2    09-06-2024

The “whole systems” energy sustainability of digitalization: Humanizing the community risks and benefits of Nordic datacenter development
28    62    1    09-06-2024

Pathogens with potential impact on reproduction in captive and free-ranging European bison (Bison bonasus) in Poland - a serological survey
10    99    1    09-06-2024

Bài giảng Truyền thông số: Phần 1
46    347    1    09-06-2024

Luận án Tiến sĩ Y học: Nghiên cứu nồng độ IgA, IgG, IgM huyết tương ở bệnh nhân hội chứng thận hư nguyên phát
200    63    2    09-06-2024

The addition of Lactobacillus spp. negatively affects Mycoplasma bovis viability in bovine cervical mucus
7    67    1    09-06-2024

Bài giảng Kinh tế lượng - Chương 8: Chọn mô hình và kiểm định việc chọn mô hình
22    531    1    09-06-2024

Luận văn Thạc sĩ Sinh học: Nghiên cứu đặc điểm sinh học, năng suất và phẩm chất một số giống ngô nếp mới trong vụ đông - xuân năm 2016 tại phường Thủy Biều, thành phố Huế
93    62    1    09-06-2024

Luận văn Thạc sĩ Toán học: Không gian sn-đối xứng với cs-mạng đếm được
52    82    1    09-06-2024

Bài giảng Hàn cơ bản: Bài 2 - Trần Thanh Ngọc
34    207    3    09-06-2024

Luận văn Thạc sĩ Quản trị kinh doanh: Giải pháp marketing cho sản phẩm gas bình Hoàng Sa Gas của Công ty QISC
112    73    1    09-06-2024

Giáo trình Văn hóa doanh nghiệp và đạo đức kinh doanh (Ngành: Nghiệp vụ bán hàng - Trung cấp) - Trường Cao đẳng Nghề Đồng Tháp
148    264    9    09-06-2024
TÀI LIỆU HOT

Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3    25012    248

Thiết kế kế hoạch bài học môn Toán theo định hướng phát triển năng lực học sinh
13    40978    2412

CẬP  NHẬT KINH TẾ VĨ MÔ VIỆT NAM 6 tháng đầu năm 2020
3    2850    81

Sách trắng Doanh nghiệp Việt Nam năm 2020
580    5168    363

Việt Nam 2035 hướng tới thịnh vượng, sáng tạo, công bằng và dân chủ
584    3408    100

BÀI GIẢNG DỰNG HÌNH SKETCHUP 2020 BIÊN SOẠN : GV.KTS PHAN THỨC
62    6734    1

GIÁO TRÌNH TIẾNG ANH ENG BREAKING
171    5784    721

Quản trị khủng hoảng trong quan hệ công chúng
2    3206    78

Báo cáo thực tập chuyên ngành: Nghiên cứu, thiết kế, mô phỏng robot công nghiệp
51    4523    200

Đề tài “ Cân đối ngân sách nhà nước- thực trạng và hướng hoàn thiện”
53    4814    189
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.