Calculation and analysys of electron transport coefficients in tries N2 gas mixtures

The electron transport coefficients in gases or gas mixtures are important data for plasma modeling. The pure triethoxysilane (TRIES) and pure N2 are widely used in various plasma processing such as doping plasma, plasma etching and plasma-enhanced chemical vapor deposition. |

Không thể tạo bản xem trước, hãy bấm tải xuống
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
204    87    3    23-05-2024
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.