Nghiên cứu này trình bày phương pháp mô phỏng FEM 2D và thực nghiệm chế tạo khảo sát cảm biến SAW có cấu trúc đa lớp Graphene/AlN/Si thay đổi theo độ ẩm. Cảm biến SAW hóa học là loại cảm biến dựa trên hiện tượng thay đổi sóng âm bề mặt. | Vol 3 3 2022 Measurement Control and Automation Website https ISSN 1859-0551 Nghiên cứu ảnh hưởng của độ ẩm đến cảm biến SAW hóa học cấu trúc đa lớp Graphene AlN Si Studying the effect of humidity on the Graphene AlN Si multilayer structure of SAW chemical sensor Nguyễn Hải Hà1 2 Trương Ngọc Tuấn2 Hoàng Sĩ Hồng1 Trường Điện Điện tử Đại học Bách Khoa Hà Nội Việt Nam 2 Trường đại học Sư phạm Kỹ thuật Hưng Yên Việt Nam Corresponding author E-mail Abstract This study presents the 2D FEM simulation method and experimental fabrication of SAW- based on multilayer structure Graphene AlN Si changes with humidity. The chemical SAW sensor is a type of sensor based on the phenomenon of surface acoustic wave changes. Simulation results show that the center frequency decreases from MHz to MHz when the humidity increases from 10 to 100 . This is completely consistent with the trend of the experimental results the center frequency is also reduced from MHz to MHz. Both simulation and experimental results are consistent with the theory that when the humidity increases the equivalent sensitivity layer thickness increases and the average density of the sensitive layer changes decreases leading to a decrease in the center frequency. Keywords Surface acoustic wave relative humidity frequency response piezoelectric materials water vapor adsorption. Ký hiệu phỏng và thực thiệm đều phù hợp với lý thuyết khi độ ẩm tăng thì chiều dày lớp nhạy tăng khối lượng riêng trung bình lớp nhạy thay đổi giảm dẫn tới tần số trung tâm giảm. Symbols Units Description VSAW m s Vận tốc sóng bề mặt f Hz Tần số trung tâm cộng 1. Giới thiệu chung hưởng f Hz Độ dịch tần Năm 1965 hai nhà khoa học Wohltjen và White đã phát minh là một loại cảm biến mới đó là cảm biến sóng âm bề mặt m Độ dài bước sóng SAW 1 . Vì có một số ưu điểm nổi bật như kích thước nhỏ Kg m3 Khối lượng riêng giá thành rẻ độ tin cậy cao và đặc biệt rất nhạy với khí nên .
