Cảm biến tốc độ - bộ mã hóa quang học là đĩa mã trên có khắc vạch mà ánh sáng có thể đi qua được. Phía sau đĩa mã đặt phototransistor chịu tác dụng của một nguồn sáng. | - Biến thiên điện dung của cảm biến tụ điện là hàm tuyến tính khi diện tích bản cực và hằng số điện môi thay đổi nhưng phi tuyến khi khoảng cách giữa hai bản cực thay đổi. - Biến thiên dung kháng của cảm biến tụ điện là hàm tuyến tính khi khoảng cách giữa hai bản cực thay đổi nhưng phi tuyến khi diện tích bản cực và hằng số điện môi thay đổi. Ngoài ra giữa hai bản cực khi có điện áp đặt vào sẽ phát sinh lực hút lực này cần phải nhỏ hơn đại lượng đo. . Cảm biến tụ kép vi sai A2_ Xv A1 A3 c - lô k a b Hỡnh Cũm biũn tũ kộp vi sai Tụ kép vi sai có khoảng cách giữa các bản cực biến thiên dịch chuyển thẳng hình hoặc có diện tích bản cực biến thiên dịch chuyển quay hình và dịch chuyển thẳng hình gồm ba bản cực. Bản cực động A1 dịch chuyển giữa hai bản cực cố định A2 và A3 tạo thành cùng với hai bản cực này hai tụ điện có điện dung C21 và C31 biến thiên ngược chiều nhau. Độ nhạy và độ tuyến tính của tụ kép vi sai cao hơn tụ đơn và lực tương hỗ giữa các bản cực triệt tiêu lẫn nhau do ngược chiều nhau. . Mạch đo Thông thường mạch đo dùng với cảm biến điện dung là các mạch cầu không cân bằng cung cấp bằng dòng xoay chiều. Mạch đo cần thoả mãn các yêu cầu sau - Tổng trở đầu vào tức là tổng trở của đường chéo cầu phải thật lớn. - Các dây dẫn phải được bọc kim loại để tránh ảnh hưởng của điện trường ngoài. - Không được mắc các điện trở song song với cảm biến. - Chống ẩm tốt. Hình là sơ đồ mạch cầu dùng cho cảm biến tụ kép vi sai với hai điện trở. Cung cấp cho mạch cầu là một máy phát tần số cao. Hình là sơ đồ mạch mặch cầu biến áp với hai nhánh tụ điện. R R Ạ ã Ura R - Ura R a Cx es b Hỡnh Mũch ũo thũũng dựng vũi cũm biũn tũ ũiũn . Cảm biến quang Các cảm biến đo vị trí và dịch chuyển theo phương pháp quang học gồm nguồn phát ánh sáng kết hợp với một đầu thu quang thường là tế bào quang điện . Tuỳ theo cách bố trí đầu thu quang nguồn phát và thước đo hoặc đối tượng đo các cảm biến được chia ra - Cảm biến quang phản xạ. - Cảm .
