Quang khắc là kỹ thuật sử dụng bức xạ ánh sáng làm biến đổi các chất cản quang phủ trên bề mặt để tạo ra hình ảnh cần tạo | CÔNG NGHỆ QUANG KHẮC ĐIỆN TỬ 1 – K3 - HaUI NHÓM SINH VIÊN Từ Ngọc Tùng 2 Nguyễn Văn Phương 4 Trịnh Văn Khải 3 1 Nguyễn Đức Duẩn 3 3 CÔNG NGHỆ QUANG KHẮC Quang khắc? Quang khắc là kỹ thuật sử dụng bức xạ ánh sáng làm biến đổi các chất cản quang phủ trên bề mặt để tạo ra hình ảnh cần tạo Cây đàn kích cỡ hàng micromet Công nghệ quang khắc có thể tạo ra vật liệu kích cỡ micromet Để chế tạo vật liệu kích thước nhỏ hơn 50nm, người ta dùng phương pháp khắc trùm tia điện tử CÔNG NGHỆ QUANG KHẮC Ứng dụng: Chế tạo vi mạch điện tử trên phiến Si Chế tạo các linh kiện vi cơ điện tử (MEMS) Chế tạo các chi tiết vật liệu nhỏ trong ngành khoa học và công nghệ vật liệu. MỘT SỐ THUẬT NGỮ MẶT NẠ (PHOTOMARK): Là một tấm thủy tinh có hình ảnh của vật liệu cần tạo Hình ảnh trên mặt nạ được tạo bằng cách ăn mòn có chọn lọc lớp crom mỏng tạo nên các vùng sáng và tối. Vùng có crom sẽ ngăn không cho ánh sáng đi qua crom crom MỘT SỐ THUẬT NGỮ CẢN QUANG(PHOTORESIST): Là một hợp chất hữu cơ có tính nhạy | CÔNG NGHỆ QUANG KHẮC ĐIỆN TỬ 1 – K3 - HaUI NHÓM SINH VIÊN Từ Ngọc Tùng 2 Nguyễn Văn Phương 4 Trịnh Văn Khải 3 1 Nguyễn Đức Duẩn 3 3 CÔNG NGHỆ QUANG KHẮC Quang khắc? Quang khắc là kỹ thuật sử dụng bức xạ ánh sáng làm biến đổi các chất cản quang phủ trên bề mặt để tạo ra hình ảnh cần tạo Cây đàn kích cỡ hàng micromet Công nghệ quang khắc có thể tạo ra vật liệu kích cỡ micromet Để chế tạo vật liệu kích thước nhỏ hơn 50nm, người ta dùng phương pháp khắc trùm tia điện tử CÔNG NGHỆ QUANG KHẮC Ứng dụng: Chế tạo vi mạch điện tử trên phiến Si Chế tạo các linh kiện vi cơ điện tử (MEMS) Chế tạo các chi tiết vật liệu nhỏ trong ngành khoa học và công nghệ vật liệu. MỘT SỐ THUẬT NGỮ MẶT NẠ (PHOTOMARK): Là một tấm thủy tinh có hình ảnh của vật liệu cần tạo Hình ảnh trên mặt nạ được tạo bằng cách ăn mòn có chọn lọc lớp crom mỏng tạo nên các vùng sáng và tối. Vùng có crom sẽ ngăn không cho ánh sáng đi qua crom crom MỘT SỐ THUẬT NGỮ CẢN QUANG(PHOTORESIST): Là một hợp chất hữu cơ có tính nhạy quang Tính chất bị thay đổi khi chiếu xạ các bức xạ thích hợp Bền trong môi trường kiềm và axit Cản quang thường được phủ lên bề mặt tấm bằng kỹ thuật quang phủ PHÂN LOẠI CẢN QUANG CẢN QUANG ÂM.: Là cản quang có tính chất biến đổi sau khi ánh sáng chiếu vào thì không bị hòa tan trong các dung dịch tráng rửa CẢN QUANG DƯƠNG.: Là cản quang có tính chất biến đổi sau khi ánh sáng chiếu vào, sẽ bị hòa tan trong các dung dịch tráng rửa. CẢN QUANG CÔNG NGHỆ QUANG KHẮC CẢN QUANG DƯƠNG CẢN QUANG ÂM LỚP CẢN QUANG CẤU TẠO MÁY QUANG KHẮC NGUỒN PHÁT TIA TỬ NGOẠI (UV, DUV,XUV) BỘ KHUẾCH ĐẠI TIA TỬ NGOẠI MẶT NẠ (PHOTOMARK) THẤU KÍNH HỘI TỤ: Hộ tụ chùm sáng và chiếu lên phiến đế Si đã phủ cản quang QUY TRÌNH QUANG KHẮC ÁNH SÁNG QUA MẶT NẠ ĐƯỢC CHIẾU LÊN BỀ MẶT LỚP CẢN QUANG, TẠO NÊN HÌNH DẠNG CHI TIẾT CẦN TẠO PHẦN CẢN QUANG ĐƯỢC CHIẾU SÁNG SẼ THAY ĐỔI TÍNH CHẤT HÓA HỌC SỬ DỤNG PHƯƠNG PHÁP ĂN MÒN HÓA HỌC, NGƯỜI TA LOẠI BỎ PHẦN ĐƯỢC CHIẾU SÁNG (CẢN QUANG DƯƠNG) HOẶC KHÔNG ĐƯỢC CHIẾU SÁNG(CẢN QUANG
