Màng mỏng TiOxNy 1. Cơ chế làm giảm Eg khi pha tạp Nitơ 2. Vị trí của Nitơ trong TiOxNy 3. So sánh tính quang xú tác giữa TiO2 và TiOxNy | ỉ taio 2. Tính chat cuia mang 3. oing duing 1 I. Mang moing TiO2 A . . . II. Mang moing TiOxNy 1. Cô cheỉ lam giaim Eg khi pha taip Nitô 2. Vò trí cuia Nitô trong TiOxNy 3. So sainh tính quang xui tac giõia TiO2 vai TiOxN 1. Phỏông phaip tao mang. Phỏông phaip Solgel phuin xai taio bot TiO2 Solgel Phuin xai Nôn gian. Tinh thei 4000C 6000C . Nei ben nhiet khoing choia K Na. Khoipha taip Nitô. Mang tot. Phỏic taip. Tinh thei 193 C -250 C . Nei thoing thỏông. Dei pha taip Nitô. Mang tot noi baim dính cao. 3 tẩm sất nối tử Iimui llliiiiiinmilllllll Hei magnetron khoỉng caỉn baìng. GIÔI THIEU Hình 1 Hea magnetron khoâng caân .
